資料介紹
本文針對LDMOS 器件在ESD 保護應(yīng)用中的原理進行了分析,重點討論了設(shè)計以及應(yīng)用過程中如何降低高觸發(fā)電壓和有效提高二次擊穿電流,結(jié)合實際工藝對器件進行參數(shù)優(yōu)化,得到了承受4KV ESD 電壓的LDMOS器件。
ESD(Electrostatic Discharge)現(xiàn)象對集成電路的可靠性造成了巨大威脅,利用片內(nèi)半導(dǎo)體器件形成保護電路是提高ESD 保護的重要手段[1]。一般的消費電子產(chǎn)品要求在人體放電模式( HBM ,Human-Body Mode)模式下承受的ESD 電壓大于2KV。智能功率集成電路通常需要高低壓器件兼容集成來實現(xiàn),橫向雙擴散絕緣柵場效應(yīng)晶體管(LDMOS,Lateral Double Diffused MOS Transistor)具有較高耐壓,且與雙極、CMOS 低壓工藝兼容,易于集成而被廣泛應(yīng)用于智能功率IC 中。同時,LDMOS 被廣泛選用對高壓通道進行ESD 保護。本文利用雙金屬層、0.6μm 雙極-互補MOS-雙擴散MOS(BCD)工藝下的LDMOS 來實現(xiàn)一塊智能功率IC 輸出端口的靜電保護,并成功通過測試,有效提高了芯片的可靠性。
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