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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術(shù)論文>集成電路制造工藝狀態(tài)的表達與跟蹤監(jiān)控

      集成電路制造工藝狀態(tài)的表達與跟蹤監(jiān)控

      2012-02-13 | pdf | 196 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      文章提出了對PCM 參數(shù)進行正交化而建立起一套廣義參數(shù), 再以廣義參數(shù)為基礎構(gòu)建工藝狀態(tài)空間的技術(shù)。在工藝狀態(tài)空間中, 作為工藝結(jié)果的測試值集的數(shù)據(jù)分布為多維橢球體; 該橢球體隨生產(chǎn)的進行而呈現(xiàn)出連續(xù)性的形變, 因此, 跟蹤這種形變, 就實現(xiàn)了對工藝狀態(tài)的監(jiān)控。提出了將特定批次工藝狀態(tài)與參照態(tài)進行狀態(tài)比較的相似度指標計算公式, 在多維空間中實現(xiàn)了整體性的統(tǒng)計工藝控制( SPC) 。進一步地, 由于狀態(tài)空間中各坐標基矢的特定指向與工藝失效因素一一對應, 對失效工藝的診斷與糾正也變得易于進行
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