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該文研究了銅互連線中的多余物缺陷對(duì)兩根相鄰的互連線間信號(hào)的串?dāng)_，提出了互連線之間的多余物缺陷和互連線之間的互容、互感模型，用于定量的計(jì)算缺陷對(duì)串?dāng)_的影響。提出了把缺陷部分單獨(dú)看作一段RLC 電路模型，通過(guò)提出的模型研究了不同互連線參數(shù)條件下的信號(hào)串?dāng)_，主要研究了銅互連線的遠(yuǎn)端串?dāng)_和近端串?dāng)_，論文最后提出了一些改進(jìn)串?dāng)_的建議。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明該文提出的信號(hào)串?dāng)_模型可用于實(shí)際的電路設(shè)計(jì)中，能夠?qū)υO(shè)計(jì)人員設(shè)計(jì)滿足串?dāng)_要求的電路提供指導(dǎo)。
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