資料介紹
具有電極層無限大彈性板中表面波的精確與近似解
摘要:用一個(gè)雙層板結(jié)構(gòu)模型來簡(jiǎn)化典型的表面波諧振器單元,并用三維彈性力學(xué)方程來精確分析在其中傳播的表面波.與此同時(shí),用O(H)近似方法對(duì)有電極的彈性板模型做了近似計(jì)算,發(fā)現(xiàn)在電極層厚度很小的時(shí)候,分析精度相當(dāng)好.這種近似方法能減少一半的計(jì)算量,為分析復(fù)雜的模型提供了很好的近似分析方法.
關(guān)鍵詞:電極層; 無限大彈性板; 表面波; 傳播; 諧振器
聲表 面 波 (SAW)是沿著彈性固體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?自從瑞利1885年發(fā)現(xiàn)表面波以來,聲表面波器件由于其獨(dú)有的高頻特性越來越受到人們的重視.聲表面波在實(shí)際應(yīng)用中常常集中于兩個(gè)方面,一方面是各向異性壓電材料制作的頻率控制諧振器,另一方面是基于諧振器原理的新元件,如傳感器等.聲表面波器件主要由壓電基片、發(fā)射和接收換能器叉指結(jié)構(gòu)以及吸聲材料等構(gòu)成.基體材料通常采用泥酸銼單晶和石英單晶等.本 文首 先 對(duì)具有電極層的無限大彈性板中的表面波做了精確分析,并與基層板是半無限大的情況做了比較〔’〕.接著用0(H)方法〔’」求得近似解,并與精確解做比較,發(fā)現(xiàn)當(dāng)電極層厚度相當(dāng)小的時(shí)候,近似效果非常好.
1 電極層效應(yīng)的精確計(jì)算
1.1基本方程
對(duì)于 有 限 厚度彈性板中的聲表面波,如圖1,我們假設(shè)位移形式與半無限空間時(shí)一樣,都是在沿著厚度方向呈指數(shù)變化,即在基層
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