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主要介紹幾種常用于工業(yè)制備的刻蝕技術(shù),其中包括離子束刻蝕(IBE)、反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、以及后來基于高密度等離子體反應(yīng)離子的電子回旋共振等離子體刻蝕...
石墨烯增強(qiáng)銅基復(fù)合材料制備工藝及性能的研究進(jìn)展
作為常用的金屬材料,銅因強(qiáng)度較低而應(yīng)用范圍受限,石墨烯具有優(yōu)異的綜合性能,作為極具潛力的增強(qiáng)體而受到廣泛關(guān)注。石墨烯增強(qiáng)銅基復(fù)合材料兼具了銅和石墨烯的優(yōu)...
石墨烯/硅異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器的制備工藝與其伏安特性的關(guān)系
通過濕法轉(zhuǎn)移二維材料與半導(dǎo)體襯底形成異質(zhì)結(jié)是一種常見的制備異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器的方法。在濕法轉(zhuǎn)移制備異質(zhì)結(jié)的過程中,不同的制備工藝細(xì)節(jié)對(duì)二維材料與半導(dǎo)體形成...
本文介紹了流延成型、凝膠注模成型和新型3D打印成型等幾種基板成型方法,分析了不同成型方法的特點(diǎn)、優(yōu)勢(shì)及技術(shù)難點(diǎn)。 介紹了了近年來國(guó)內(nèi)外陶瓷基板成型的研究...
蒸鍍工藝通過高溫融化金屬材料,蒸發(fā)到基膜上實(shí)現(xiàn)鍍銅/鋁,相比于磁控濺射速度更快,效率更高,但由于高溫易使基膜變形,在鍍銅過程中較少使用;鋁的熔點(diǎn)遠(yuǎn)低于銅...
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