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標簽 > 微機電技術(shù)
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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEM...
2013-01-22 標簽:MEMS菲爾斯特微機電技術(shù) 2404 5
三維硅MEMS結(jié)構(gòu)的灰階微加工 光刻和深反應(yīng)離子蝕刻
摘要 微機電系統(tǒng)中任意三維硅結(jié)構(gòu)的微加工可以用灰度光刻技術(shù)實現(xiàn)以及干各向異性蝕刻。 在本研究中,我們研究了深反應(yīng)離子蝕刻(DRIE)的使用和蝕刻的裁剪精...
2022-03-08 標簽:激光硅材料微機電技術(shù) 1033 0
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的WiME系統(tǒng)路由設(shè)計
隨著微機電技術(shù)、低功耗嵌入式技術(shù)和通信技術(shù)的飛速發(fā)展,具有感知能力、計算能力和無線通信能力的微型傳感器得到了廣泛的應(yīng)用。這些由無線微型傳感器組成的傳感器...
2011-01-25 標簽:無線傳感器微機電技術(shù) 1386 0
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