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標(biāo)簽 > 硅片
硅片,是制作集成電路的重要材料,通過(guò)對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。在米粒大的硅片上,已能集成16萬(wàn)個(gè)晶體管,這是科學(xué)技術(shù)進(jìn)步的又一個(gè)里程碑。
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光刻技術(shù)簡(jiǎn)單來(lái)講,就是將掩膜版圖形曝光至硅片的過(guò)程,是大規(guī)模集成電路的基礎(chǔ)。目前市場(chǎng)上主流技術(shù)是193nm沉浸式光刻技術(shù),CPU所謂30nm工藝或者22...
將硅錠切成1mm左右一片片的wafer(晶圓)。晶圓尺寸有大有小,比如8inch, 12inch的晶圓,光刻的時(shí)候直接刻整個(gè)圓,然后切下來(lái)好多小芯片。
拋光液必須現(xiàn)場(chǎng)調(diào)配,立即使用。通過(guò)測(cè)量容積或液位實(shí)時(shí)確保各種成分的配比,實(shí)現(xiàn)現(xiàn)配現(xiàn)磨。先進(jìn)的芯片制程采用非接觸式的稱重計(jì)量法來(lái)做配比,采用自動(dòng)化的高精密...
硅錠生長(zhǎng)是一個(gè)將多晶硅制成單晶硅的工序,將多晶硅加熱成液體后,精密控制熱環(huán)境,成長(zhǎng)為高品質(zhì)的單晶。
2023-02-01 標(biāo)簽:硅片功率半導(dǎo)體半導(dǎo)體制造 8104 0
常規(guī)的絕緣層上硅 (Silicon on Insulator, SOI)是通過(guò)注氧隔離 (Separation by Implanted Oxygen,...
2022年硅片需求大漲 2023年行情恐怕會(huì)發(fā)生反轉(zhuǎn)
半導(dǎo)體材料市場(chǎng)研究和咨詢公司TECHCET發(fā)布預(yù)測(cè),2022年硅片市場(chǎng)(包括SOI晶圓)將同比增長(zhǎng)12%,達(dá)到160億美元,出貨面積將同比增長(zhǎng)6%,創(chuàng)歷史新高。
能源被認(rèn)為是未來(lái)五十年人類面臨的頭號(hào)問(wèn)題。據(jù)估計(jì),太陽(yáng)能在一小時(shí)內(nèi)顯示出供給的潛力,其能量足以滿足世界一年的能源需求總量。光伏產(chǎn)業(yè)面臨的一個(gè)主要挑戰(zhàn)是以...
本實(shí)驗(yàn)通過(guò)這兩種清洗方法進(jìn)行標(biāo)識(shí)分為四個(gè)實(shí)驗(yàn)組,進(jìn)行了清洗實(shí)驗(yàn)及室溫接合, 以上工藝除熱處理工藝外,通過(guò)最小化工序內(nèi)部時(shí)間間隔,抑制清洗的基板表面暴露在...
在半導(dǎo)體和LED的制造中,需要研磨以使晶片的厚度變薄,以及拋光以使表面成為鏡面。在半導(dǎo)體器件的制造中,半導(dǎo)體制造工藝包括:(1)從晶體生長(zhǎng)開(kāi)始切割和拋光...
近年來(lái),作為取代SPM(硫酸/過(guò)氧化氫)清洗的有機(jī)物去除法,通過(guò)添加臭氧的超純水進(jìn)行的清洗受到關(guān)注,其有效性逐漸被發(fā)現(xiàn)。在該清洗法中,可以實(shí)現(xiàn)清洗工序的...
在本研究中,我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)150mm晶片的濕蝕刻槽來(lái)防止硅片的背面蝕刻,并演示了優(yōu)化的工藝配方,使各向異性濕蝕刻的背面沒(méi)有任何損傷,我們還提出了300m...
在半導(dǎo)體清洗過(guò)程中,作為取代 現(xiàn)有濕化學(xué)清洗液的新型濕式溶液,將臭氧溶解到純中,被稱為僅次于氟的強(qiáng)氧化劑,是PR去除工藝和雜質(zhì)清洗。這種臭氧水方式的濕洗...
半導(dǎo)體硅太陽(yáng)能電池基板的濕化學(xué)處理及電子界面特性
引言 硅(Si)在半導(dǎo)體器件制造中的大多數(shù)技術(shù)應(yīng)用都是基于這種材料的特定界面性能。二氧化硅(二氧化硅)可以通過(guò)簡(jiǎn)單的氧化方法在硅表面制備,其特點(diǎn)是高化學(xué)...
用于異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池應(yīng)用的Na2CO3溶液的硅片紋理化
引言 在太陽(yáng)能電池工業(yè)中,最常見(jiàn)的紋理化方法之一是基于氫氧化鈉或氫氧化鉀的水溶液和異丙醇(IPA)。然而,IPA是有毒的,而且相對(duì)昂貴,因此人們正在努力...
2022-01-05 標(biāo)簽:太陽(yáng)能電池太陽(yáng)能半導(dǎo)體 1262 0
硅片是光伏電池的核心,當(dāng)分析硅原子的結(jié)構(gòu)時(shí),正常情況下硅原子只攜帶有4個(gè)電子,但是硅原子在共享周邊的電子以后,就形成了每個(gè)原子周圍8個(gè)電子的穩(wěn)固的分子形...
Fe和Cu污染對(duì)硅襯底少數(shù)載流子壽命的影響分析
在所有金屬污染物中,鐵和銅被認(rèn)為是最有問(wèn)題的。它們不僅可以很容易地從未優(yōu)化的工藝工具和低質(zhì)量的氣體和化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)移到晶片上,而旦還會(huì)大大降低硅器件的產(chǎn)量。...
2021-12-15 標(biāo)簽:半導(dǎo)體硅片有機(jī)半導(dǎo)體 2328 0
《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》硅片清洗技術(shù)的演變
通過(guò)對(duì)硅表面的清洗和表面處理制備超凈硅。集成電路在制造條件下發(fā)生了相當(dāng)大的變化,在1993年。?這些變化的驅(qū)動(dòng)力是不斷增長(zhǎng)的,生產(chǎn)高性能先進(jìn)硅器件的要求...
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