疫情引發(fā)斷料危機(jī)，光刻膠國產(chǎn)化迫在眉睫

（文章來源：電子工程世界）

自新冠疫情爆發(fā)以來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)率先遭遇了“斷料危機(jī)”，而隨著海外疫情持續(xù)蔓延，全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈?zhǔn)艿降奶魬?zhàn)越來越大。連晶圓代工龍頭臺(tái)積電都對(duì)此表示擔(dān)心，臺(tái)積電在年報(bào)中指出，“新冠疫情可能會(huì)從各個(gè)環(huán)節(jié)來影響其公司的正常運(yùn)作，其中包括中斷全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈及臺(tái)積電的供應(yīng)商的運(yùn)營，包括亞洲、歐洲及北美”。

疫情之下，作為一種用量大但備貨少的材料，光刻膠供應(yīng)安全尤為受到關(guān)注，而國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠廠商目前僅實(shí)現(xiàn)了i線（365nm）和KrF線（248nm）兩種光刻膠的規(guī)?；慨a(chǎn)，對(duì)于更高端的ArF以及EUV光刻膠尚未有所突破。盡管如此，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)供應(yīng)鏈的安全愈發(fā)重視，各大晶圓廠均加強(qiáng)與國產(chǎn)光刻膠廠商的合作，國產(chǎn)光刻膠廠商也在全力推動(dòng)研發(fā)進(jìn)度。

在半導(dǎo)體所有的化學(xué)品中，光刻膠是價(jià)格最貴的材料之一，但有效期卻最短（80%以上的光刻膠進(jìn)廠后有效期僅有90天）。為了避免不必要的浪費(fèi)，晶圓廠正常的原材料庫存并不會(huì)太多，通常來說，在滿載的晶圓廠里面需要用到的光刻膠會(huì)有30多種，部分產(chǎn)品甚至每個(gè)月都要進(jìn)貨。

集微網(wǎng)在此前曾報(bào)道，隨著美國加州發(fā)布“就地避難令”，根據(jù)當(dāng)?shù)卣囊?，?dāng)?shù)毓S均暫時(shí)關(guān)閉運(yùn)營，其中就包括半導(dǎo)體設(shè)備工廠以及JSR、DuPont（杜邦）在內(nèi)的小部分半導(dǎo)體材料工廠。集微網(wǎng)了解到，盡管上述工廠很快就恢復(fù)了正常運(yùn)營，對(duì)購買JSR、DuPont光刻膠的晶圓廠整體運(yùn)營并未造成太大影響。

不過，由于光刻膠具有極高的技術(shù)壁壘，潛在擬進(jìn)入者很難對(duì)光刻膠成品進(jìn)行逆向分析和仿制。因此，全球光刻膠行業(yè)呈現(xiàn)寡頭壟斷格局，長期被日本、歐美的專業(yè)公司壟斷，其中，日本的企業(yè)占據(jù)80%的全球市場(chǎng)。

光刻膠主要企業(yè)包括日本的TOK、JSR、富士、信越化學(xué)和住友化學(xué)，美國的陶氏化學(xué)、歐洲的AZEM和韓國的東進(jìn)世美肯等，而國內(nèi)在高端光刻膠及配套關(guān)鍵材料產(chǎn)品方面一直處于空白狀態(tài)，因此，業(yè)內(nèi)對(duì)于供應(yīng)鏈的安全卻愈發(fā)擔(dān)憂，光刻膠國產(chǎn)化也迫在眉睫。

據(jù)了解，目前國內(nèi)僅蘇州瑞紅（晶瑞股份子公司）和北京科華具有半導(dǎo)體光刻膠的規(guī)模化生產(chǎn)能力，二者分別承擔(dān)了并完成了國家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”以及“KrF線光刻膠產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。

晶瑞股份在2019年年報(bào)中表示，蘇州瑞紅完成了多款i線光刻膠產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)工作，并實(shí)現(xiàn)銷售，取得揚(yáng)杰科技、福順微電子等國內(nèi)企業(yè)的供貨訂單，并在士蘭微、吉林華微、深圳方正等知名半導(dǎo)體廠進(jìn)行測(cè)試；高端KrF光刻膠處于中試階段。

不過，過去一年，晶瑞股份的光刻膠業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入7,915.78萬元，比上年同期減少6.02%，毛利率50.95%，同比下降2%。北京科華完成了紫外正性光刻膠、集成電路用高分辨G線正膠、I線正膠、KrF深紫外光刻膠的產(chǎn)線建設(shè)和量產(chǎn)出貨，客戶包括中芯國際、華潤上華、士蘭微、華微電子、三安光電、華燦光電等。

從南大光電披露的公告顯示，北京科華2019年實(shí)現(xiàn)營收7046萬元，比上年同期的7895萬元下滑10.75%，凈利潤為545萬元，上年同期為1015萬元。

對(duì)于業(yè)績下滑方面，晶瑞股份和北京科華并未做出解釋。不過，南大光電表示，當(dāng)我國形成自己的本土化光刻膠產(chǎn)品時(shí)，相應(yīng)的國外壟斷企業(yè)必然要啟動(dòng)反制機(jī)制以最大限度的力量阻礙我國自主獨(dú)立產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，可能存在與本土企業(yè)在國內(nèi)市場(chǎng)打價(jià)格戰(zhàn)的情況，進(jìn)而阻礙與推遲本土產(chǎn)品進(jìn)入國內(nèi)主流市場(chǎng)和隨之要推進(jìn)的產(chǎn)業(yè)化。

盡管筆者并不知曉國外企業(yè)是否啟動(dòng)了反制機(jī)制，但同樣的事情已經(jīng)在半導(dǎo)體各個(gè)細(xì)分行業(yè)得到過無數(shù)次的驗(yàn)證。
（責(zé)任編輯：fqj）