高級(jí)精細(xì)的工具簡(jiǎn)化了超低溫測(cè)試
低溫工具軟件是一種Velox應(yīng)用程序,通過(guò)控制真空泵和冷卻液參數(shù),可在極端環(huán)境中進(jìn)行精確的晶圓上測(cè)量。它是為低溫探針臺(tái)系統(tǒng)開發(fā)的,可以測(cè)試?yán)鋮s紅外傳感器和需要低溫的尖端技術(shù)。它支持輔助功能,如自動(dòng)重新填充液氮杜瓦瓶和自動(dòng)交換紅外輻射源(黑體)。
真空 / 超低溫探針臺(tái)的圖形界面
過(guò)程參數(shù)的實(shí)時(shí)顯示
向?qū)Щ牟僮?/p>
半自動(dòng)化流程工具
審核編輯:符乾江
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