1WIREBONDING**
引線鍵合是一種芯片到封裝的互連技術(shù),其中在芯片上的每個(gè) I/O 焊盤與其相關(guān)的封裝引腳之間連接一根細(xì)金屬線。細(xì)線(通常為 25 μm 厚的 Au 線)鍵合在 IC 焊盤和引線框或封裝和基板焊盤之間。引線鍵合是電子封裝中最重要和最關(guān)鍵的制造工藝之一。引線鍵合的優(yōu)點(diǎn)是:
- 高靈活性,因?yàn)樗且粋€(gè)點(diǎn)對點(diǎn)的過程
- 低缺陷率或高良率互連處理
- 高可靠性互連結(jié)構(gòu)
- 支持該技術(shù)的大型工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施
- 設(shè)備、工具和材料技術(shù)的快速進(jìn)步
引線鍵合互連的缺點(diǎn)包括:
- 由于每個(gè)焊線的點(diǎn)對點(diǎn)處理,互連速率較慢
- 芯片到封裝的互連長度長,降低電氣性能
- 芯片到封裝互連所需的占用空間更大
芯片焊盤是鋁(或者是銅)。封裝焊盤接口可以由金屬化引線框架(通常是銅基合金)、金屬化芯片載體-有機(jī)層壓板、聚合物薄膜或陶瓷或金屬化印刷電路板組成。對于芯片載體,使用銅作為導(dǎo)體,先鍍鎳,然后鍍金。
大批量生產(chǎn)中使用兩種主要類型的引線鍵合:
i) 球鍵合(>95% 形成的所有引線鍵合)
ii) 楔形粘合
2球鍵合和楔形鍵合
球鍵合
最常見的引線鍵合技術(shù)(>95% 形成的所有引線鍵合),使用熱超聲焊接。主要優(yōu)點(diǎn):毛細(xì)管形鍵合工具是圓形的,因此可以以圓形實(shí)現(xiàn)鍵合頭實(shí)現(xiàn)簡單高速 x-y 運(yùn)動(dòng)。熱超聲球鍵合的基本步驟是:
- 在啟動(dòng)鍵合順序之前,使用高精度視覺系統(tǒng)將芯片和引線框圖案放置好。
1)在可控的毛細(xì)管鍵合力、中等溫度,給導(dǎo)線和毛細(xì)管以超聲波激發(fā)(60-120 kHz),與IC的鍵合焊盤形成球鍵合。
2)導(dǎo)線從毛細(xì)管中引出,形成導(dǎo)線環(huán)。現(xiàn)在在導(dǎo)線和封裝引線框架或芯片載體之間形成新月形接合。
3) 再次放出導(dǎo)線,尾部斷裂,電子火焰熄滅 (EFO) 點(diǎn)火以形成用于下一次鍵合的焊球。
楔形鍵合
大多數(shù)WB是在室溫下用鋁線完成的。然而,與傳統(tǒng)的引線鍵合(使用金線并且在鍵合過程中必須施加熱量)不同,在 WB 中,引線是在進(jìn)行超聲波鍵合的扁平或凹槽楔形工具下進(jìn)行的,并且在形成第一個(gè)鍵之前,從第一個(gè)鍵到第二個(gè)鍵的線必須定向成直線。
它的優(yōu)點(diǎn):
最細(xì)的間距(以及更低的鍵合高度)的鍵合能力,主要是因?yàn)殒I合可以通過使線變形僅超出原始直徑 25-30% 來形成,而球鍵合則為 60-80%。
楔形鍵合工藝順序包括:
- 將焊接工具中的夾線移動(dòng)到與IC鍵合焊盤接觸,并通過超聲波焊接形成芯片側(cè)楔形鍵合。
- 將線材從毛細(xì)管中放出,通過提升楔形物形成線環(huán)。
- 將楔形物放置在封裝鍵合位置上,并在導(dǎo)線和封裝引線框架或芯片載體之間形成楔形鍵合。再次,施加超聲波能量和受控的鍵合材料以形成楔離結(jié)合。
4)夾住導(dǎo)線后,楔塊向前轉(zhuǎn)動(dòng)以使導(dǎo)線在楔離鍵的跟部斷裂,并且鍵合循環(huán)在新的位置繼續(xù)進(jìn)行。
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