氮化鎵是在高頻應(yīng)用中實現(xiàn)高效運行的無可爭議的技術(shù),例如 X 波段 (8–12 GHz) 的應(yīng)用。SiC器件上的GaN可以為這些應(yīng)用提供急需的高溫可靠性和功率密度,因為材料具有無與倫比的導熱性以及它們之間的晶格匹配。
但是,X波段應(yīng)用的器件選擇并不止于選擇材料技術(shù),因為將塊狀材料特性轉(zhuǎn)化為SiC器件上的高性能GaN是另一回事。
對于X波段應(yīng)用設(shè)計人員Wolfspeed(垂直集成的SiC上的GaN設(shè)備制造商和提供商)來說,代工服務(wù)不僅帶來了30多年的寬帶隙材料和開發(fā)經(jīng)驗,而且還帶來了器件設(shè)計的成功。
工藝是秘訣
Wolfspeed 在其產(chǎn)品組合中統(tǒng)計了多個流程,每個流程都旨在最好地滿足一組不同的應(yīng)用要求(圖 1)。例如,G28V5 是一種高性能 28V 工藝,針對高頻應(yīng)用以及低頻操作,以實現(xiàn)最高效率或?qū)拵捯蟆?/p>
G28V5 | G28V4 | G40V4 | G28V3 | G50V3 | |
---|---|---|---|---|---|
澆口長度 | 0.15微米 | 0.25微米 | 0.25微米 | 0.4微米 | 0.4微米 |
偏置電壓 | 28 | 28 | 40 | 28 | 50 |
擊穿電壓 | >84V | >120V | >120V | >120V | >150V |
射頻功率密度 | 3.75瓦/毫米 | 4.5瓦/毫米 | 6瓦/毫米 | 4.5瓦/毫米 | 8瓦/毫米 |
頻帶 | 直流 - 40 千兆赫 | 直流 - 18 千兆赫 | 直流 - 18 千兆赫 | 直流 - 8 千兆赫 | 直流 - 6 千兆赫 |
碳化硅基板厚度 | 75 微米 | 100 微米 | 100 微米 | 100 微米 | 100 微米 |
雙通道 3μm 厚互連器件 | ? | ? | ? | ? | ? |
想想薄膜和塊狀電阻器 | ? | ? | ? | ? | ? |
MIM 電容器 >100V | ? | ? | ? | ? | ? |
槽通孔 | ? | ? | ? | ? | ? |
PF 功率場效應(yīng)管和射頻開關(guān)場效應(yīng)管 | ? | ? | ? | ? | ? |
圖1: Wolfspeed 的零件使用多種工藝技術(shù)中的任何一種,旨在為各種應(yīng)用提供最佳權(quán)衡。最新的G28V5工藝特別適合在X波段和Ka波段一直運行。
柵極尺寸對增益、頻率和擊穿電壓的影響是公認的。需要考慮的一個關(guān)鍵參數(shù)是柵極長度,它會影響柵極電阻和柵極至漏極電容。通常,較短的柵極會降低電容,從而實現(xiàn)更高的工作頻率,而較長的柵極長度會增加柵極電容。因此,柵極長度與GaN HEMT顯示的最大頻率(FMAX)和單位增益截止頻率(FT)成反比。
Wolfspeed 實現(xiàn)了圖 1 所示的各種工藝特性,并仔細考慮了最大頻率、擊穿電壓和柵極長度之間的權(quán)衡等參數(shù)。
因此,工藝選擇是公司在制造SiC部件上GaN時進行器件設(shè)計的重要步驟。
選擇進程
在為X波段設(shè)計SiC MMIC上的GaN時,必須做出幾個初步的設(shè)計選擇,包括選擇工藝技術(shù)。Wolfspeed 最新的 GaN on SiC 工藝 G28V5 可滿足 X 波段至 40 GHz 以上的工作需求。實現(xiàn)這一點的一個關(guān)鍵因素是柵極長度減少到0.15 μm。
它具有兩個金射頻互連層、兩種電容器、薄膜和大容量氮化鎵電阻器,以及用于連接電容器和電感器等電路元件的介電支撐橋。SiC 襯底厚度僅為 75 μm,通過采用 GaN on SiC MMIC 工藝提供的尺寸,具有最小的襯底。這使得 FET 占位面積對于 X 波段應(yīng)用來說非常小。
G28V5 具有以下特點:
0.15 μm 柵極長度
閾值電壓 (VP) ~–2 V
28V 偏置,擊穿>84V
F最大 >120 GHz
12 dB 增益 @ 30 GHz
3.75 瓦/毫米功率密度 @ 30 GHz
功率附加效率 (PAE) >40% @ 30 GHz
金屬 1 = 3 μm;金屬 2 = 3 μm
金屬-絕緣體-金屬標準密度電容 180 pF/mm2
高密度電容 305 pF/mm2
薄膜電阻 12 Ω/平方
氮化鎵電阻 66 Ω/平方和 410 Ω/平方
該工藝在 1°C 下的平均失效時間超過 225 萬小時,并且已通過全面認證。
MMIC的更多注意事項
其他初步設(shè)計考慮因素包括晶體管尺寸和偏置、滿足輸出功率要求所需的晶體管數(shù)量、匹配考慮因素以及負載牽引仿真。
還必須進行負載牽引仿真,以了解PAE在目標頻率下如何在負載阻抗范圍內(nèi)變化(圖2)。Wolfspeed使用這些測量值,并用物理方程描述設(shè)備。由此產(chǎn)生的器件模型非常精確,使一次性設(shè)計成為可能。
圖 2:測量的 G28V5 能力數(shù)據(jù)。
專為 X 波段設(shè)計的 PA
考慮到這些因素,Wolfspeed 開發(fā)了 CMPA801B030S,這是一款適用于 40.7 至 9.11 GHz 應(yīng)用的封裝 0W PA。它是 CMPA801B030 系列 MMIC 的一部分,提供 30 W 至 40 W 的峰值輸出,增益范圍為 16 dB 至 28 dB。
CMPA801B030S MMIC 利用兩級增益提供 20 dB 的大信號增益(圖 3)。其 40% 的效率支持較低的系統(tǒng)直流電源要求,再加上額定結(jié)溫 Tj,MMIC 簡化了冷卻子系統(tǒng)。
參數(shù) | 8.0千兆赫 | 8.5千兆赫 | 9.0千兆赫 | 10.0千兆赫 | 11.0千兆赫 | 單位 |
---|---|---|---|---|---|---|
小信號增益 | 28.2 | 27.5 | 27.1 | 24.6 | 24.0 | 分貝 |
輸出功率 | 39.3 | 45.9 | 48.9 | 42.3 | 40.7 | W |
功率增益 | 19.9 | 20.6 | 21.0 | 20.3 | 20.1 | 分貝 |
功率附加效率 | 38.2 | 40.6 | 41.3 | 39.4 | 37.0 | % |
此外,該部件采用 7 × 7 mm 塑料包覆成型 QFN 封裝,以滿足空間限制和高吞吐量制造要求。
從器件到參考設(shè)計的流程
X波段應(yīng)用,如相控陣雷達,包括合成孔徑和有源電子掃描陣列雷達,是面向廣泛市場的重要設(shè)備,包括用于國防、商業(yè)航空和海上導航的空域監(jiān)測和武器瞄準、空中和海上交通管制、火控系統(tǒng)、天氣監(jiān)測,甚至高分辨率城市監(jiān)測和植被測繪。
市場研究機構(gòu)Strategy Analytics估計,僅X波段雷達細分市場將從6年的3億美元增長到2018年的8億美元以上。阿拉伯數(shù)字
審核編輯:郭婷
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