我國成功研制新型光學(xué)晶體滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等需求

激光是二十世紀人類最重大的發(fā)明之一。

最近，中國科學(xué)院科研團隊成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體全波段相位匹配晶體，實現(xiàn)了整個透光范圍內(nèi)的激光輸出，它可以滿足我國半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長激光的物質(zhì)條件和源頭。

在晶體中實現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一，決定最終激光輸出的功率和效率。

其中，利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補相位失配的有效途徑。

中科院新疆理化所晶體材料研究中心潘世烈科研團隊，在提出非線性光學(xué)晶理想狀態(tài)假設(shè)的理論基礎(chǔ)上，經(jīng)過不斷實踐，成功創(chuàng)制出新非線性光學(xué)晶體，即全波段相位匹配晶體。

該研究揭示了全波段相位匹配晶體的物理機制，并指導(dǎo)獲得一例非線性光學(xué)晶體（GFB）。

它首次通過全波段雙折射相位匹配技術(shù)，對晶體材料透過范圍內(nèi)任意波長的相位匹配，實現(xiàn)了深紫外激光輸出，可以滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

中科院科研團隊介紹，該類晶體可采用水溶液法生長出高質(zhì)量、超大尺寸晶體，使其有望成為應(yīng)用于我國大科學(xué)裝置的新晶體材料。

此項成果已于近日在國際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》在線發(fā)表。