南大光電透露193nm光刻膠處于研發(fā)階段 產(chǎn)業(yè)化同步進(jìn)展順利

近日，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)上表示，參股公司北京科華開發(fā)的248nm光刻膠目前已通過包括中芯國(guó)際在內(nèi)的部分客戶的認(rèn)證。

此外，南大光電透露，193nm光刻膠處于研發(fā)階段，產(chǎn)業(yè)化同步進(jìn)行，進(jìn)展順利。公司組建專職的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，建成1500平方米的研發(fā)中心和百升級(jí)光刻膠中試生產(chǎn)線，產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)展和成果得到業(yè)界專家的認(rèn)可。成立了“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進(jìn)“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的落地實(shí)施。工廠建設(shè)完成了所有樁基工程，重要設(shè)備的購(gòu)置正在洽談中，項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)順利。

北京科華官網(wǎng)顯示，它是一家中美合資企業(yè)，成立于2004年，產(chǎn)品覆蓋KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑，產(chǎn)品打入了中芯國(guó)際、華潤(rùn)上華、士蘭微、吉林華微電子、三安光電、華燦光電、德豪光電等供應(yīng)體系。

南大光電被視作國(guó)產(chǎn)光刻膠希望之一，主要有MO源、電子特氣、光刻膠三大業(yè)務(wù)板塊。

2015年9月，南大光電入股北京科華并對(duì)外宣稱，雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā)。

當(dāng)時(shí)，南大光電副總經(jīng)理許從應(yīng)表示，北京科華248nm光刻膠項(xiàng)目成功，為193nm光刻膠產(chǎn)業(yè)化提供了工程化團(tuán)隊(duì)與工程化技術(shù)的基礎(chǔ)。193nm光刻膠在國(guó)際上是成熟產(chǎn)品，在現(xiàn)有基礎(chǔ)上，通過國(guó)家支持以及北京科華和南大光電合作，引進(jìn)人才等措施，193nm光刻膠產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的成功是大概率事情。

根據(jù)北京科華與南大光電的計(jì)劃，2016年~2017年將完成193nm干式光刻膠的研發(fā)工作，產(chǎn)品達(dá)到客戶送樣驗(yàn)證要求，2018年產(chǎn)品通過客戶驗(yàn)證；在193nm浸沒式光刻膠方面，2017年~2018年完成研發(fā)工作，達(dá)到客戶送樣驗(yàn)證要求，2019年~2020年產(chǎn)品通過客戶使用驗(yàn)證，而后逐漸形成批量銷售。

不過，雙方的合作遲遲沒有進(jìn)展，直到2018年12月，南大光電宣布使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。而在該項(xiàng)目中，也沒有北京科華的身影。

2018年1月，南大光電與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽訂投資協(xié)議書，南大光電擬在寧波開發(fā)區(qū)投資建設(shè)高端集成電路制造用193nm光刻膠材料以及配套關(guān)鍵材料研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目；11月2日，該項(xiàng)目正式開工。

據(jù)悉，該項(xiàng)目將形成年產(chǎn)25噸ArF(干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，項(xiàng)目總用地面積約86畝，其中一期總投資預(yù)計(jì)約9.6億元，于2020年開始產(chǎn)業(yè)化，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)值約3.75億元。同時(shí)，南大光電還將建立國(guó)內(nèi)第一個(gè)專業(yè)用于ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)的檢測(cè)評(píng)估平臺(tái)。