--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 影像系統(tǒng) 1024×1024
- 光學(xué)物鏡ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可選)
- 干涉物鏡 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.1nm
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SuperViewW1微米級白光干涉儀是一種用于精密檢測的儀器,采用了高精度掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計,可實現(xiàn)至高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測量品質(zhì);直觀的操作界面,讓您對操作流程一目了然,自動聚焦,助您一鍵實現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的同步分析功能,更有一鍵分析功能,批量測量不用愁。
SuperViewW1微米級白光干涉儀不僅可用于硅晶片、光學(xué)透鏡、窗口片、藍(lán)寶石表鏡、手機屏等表面粗糙度檢測儀,還可對LED襯底、紅外觀察窗口、超精密工件、微機電系統(tǒng)等進(jìn)行超精密檢測,在民用領(lǐng)域也有著廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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