中圖儀器SuperViewW系列3d表面光學輪廓儀采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
產(chǎn)品功能
1）SuperViewW系列3d表面光學輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
SuperViewW系列3d表面光學輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，xy載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。
技術(shù)指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
| 標準視場 | 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×） | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| 形貌重復(fù)性 | 0.1nm | |
| 粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | |
| 臺階測量 | 準確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ) | |
| 可測樣品反射率 | 0.05%~100% | |
| 主機尺寸 | 700×606×920㎜ | |
性能特色
1、高精度、高重復(fù)性
1）采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；
2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性；
2、環(huán)境噪聲檢測功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
SuperViewW光學輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
