國產(chǎn)機(jī)床激光干涉儀sj6000除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。
產(chǎn)品簡介
國產(chǎn)機(jī)床激光干涉儀sj6000具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
功能特點(diǎn)
1、精度高
SJ6000國產(chǎn)機(jī)床激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2、功能廣
（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3、軟件強(qiáng)
（1）友好的人機(jī)界面；
（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
線性測量應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
激光干涉儀對機(jī)床精度再校準(zhǔn)
任何機(jī)床加工設(shè)備，在長時(shí)間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時(shí)，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)，SJ6000激光干涉儀可同時(shí)測量出機(jī)床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準(zhǔn)，加工精度會大大提高。
激光干涉儀在機(jī)床維修后的重新測量和補(bǔ)償
當(dāng)機(jī)床大修過后，裝配上的精度和位置都有變化，此時(shí)就需要再重新進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。
在安裝絲桿中，絲桿鎖緊螺母擰得很緊，絲桿預(yù)拉過大，絲桿將被拉長，螺距變長，這在起點(diǎn)處影響較小，但在接近終點(diǎn)處因螺距積累誤差，將會產(chǎn)生較大的位置誤差。同樣預(yù)拉過小，也會發(fā)生螺距變小。
在裝絲桿軸承座時(shí)，一定要將錐銷敲到位，否則絲桿整體與導(dǎo)軌不平行，螺距變小，此時(shí)就可以通過SJ6000激光干涉儀來測量，進(jìn)行正確的螺距誤差補(bǔ)償，使設(shè)備精度達(dá)到要求。
激光干涉儀對機(jī)床定期檢測、補(bǔ)償
隨著數(shù)控機(jī)床的不斷使用，機(jī)床不斷產(chǎn)生磨損，精度就會產(chǎn)生變化，此時(shí)就需要對機(jī)床進(jìn)行一個(gè)定期的維護(hù)保養(yǎng)，延長機(jī)床使用壽命。首先維護(hù)保養(yǎng)機(jī)床的幾何精度，其次是定位精度，這時(shí)候就需要激光干涉儀進(jìn)行檢測補(bǔ)償。
部分技術(shù)指標(biāo)
主機(jī)
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg
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