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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>關(guān)于晶圓介紹以及IGBT晶圓的應(yīng)用

      關(guān)于晶圓介紹以及IGBT晶圓的應(yīng)用

      2023-02-22 | pdf | 0.16 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工1片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小，加工及測量設(shè)備越來越先進，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點。同時，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時，空氣中的顆粒數(shù)對晶圓加工后質(zhì)量。
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