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標(biāo)簽 > 光刻
光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個(gè)主要工藝。是對(duì)半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。
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Line Edge Roughness (LER) 線邊緣粗糙度
來源:C Lighting 線邊緣粗糙度(LER) 線邊緣粗糙度(LER)指的是柵極圖案邊緣的隨機(jī)變化,即印刷圖案邊緣的粗糙度。當(dāng)最小特征尺寸減小到幾十...
激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應(yīng)用中的關(guān)鍵作用及其優(yōu)化方案
光刻是半導(dǎo)體制造工藝中的核心之一,極紫外光刻技術(shù)作為新一代光刻技術(shù)也處于快速發(fā)展階段。其基本原理是利用光致抗蝕劑(或稱光刻膠)感光后因光化學(xué)反應(yīng)而形成耐...
電子束技術(shù)在半導(dǎo)體制造行業(yè)一直是重要的應(yīng)用技術(shù)。本文就電子束技術(shù)作一個(gè)簡(jiǎn)單的圖文介紹。
2024-04-30 標(biāo)簽:光刻電子束半導(dǎo)體制造 1276 0
聚焦放電主要包括兩個(gè)步驟:1) 將玻璃放在兩個(gè)電極之間,通過控制放電對(duì)玻璃局部區(qū)域進(jìn)行放電熔融;2)通過焦耳熱使玻璃內(nèi)部產(chǎn)生高應(yīng)力,引起內(nèi)部高壓和介電擊穿。
中央處理器(CPU)是一塊超大規(guī)模的集成電路,是一臺(tái)計(jì)算機(jī)的運(yùn)算核心和控制核心。它的功能主要是解釋計(jì)算機(jī)指令以及處理計(jì)算機(jī)軟件中的數(shù)據(jù),這也是迄今為數(shù)不...
EUV光刻技術(shù)如何為功率半導(dǎo)體提供動(dòng)力立即下載
類別:電子資料 2023-02-15 標(biāo)簽:光刻功率半導(dǎo)體EUV 423 0
類別:模擬數(shù)字論文 2022-06-29 標(biāo)簽:光刻蝕刻GaAs 491 0
光刻掩膜(也稱為光罩)和模具在微納加工技術(shù)中都起著重要的作用,但它們的功能和應(yīng)用有所不同。 光刻掩膜版 光刻掩膜版是微納加工技術(shù)中常用的光刻工藝所使用的...
想必大家都有所了解,光刻機(jī)對(duì)芯片制造的重要性,而光掩膜版又稱光罩,光掩膜等; 光掩膜版是由制造商通過光刻制版工藝將電路圖刻制于基板上制作而成,主要作用體...
2024-10-09 標(biāo)簽:光刻 187 0
光刻掩膜版的制作是一個(gè)復(fù)雜且精密的過程,涉及到多個(gè)步驟和技術(shù)。以下是小編整理的光刻掩膜版制作流程: 1. 設(shè)計(jì)與準(zhǔn)備 在開始制作光刻掩膜版之前,首先需要...
光刻掩模是光的一種掩蔽模片,其作用有類似于照相的通過它,可以使它“底下“的光劑部分成光,難溶于有機(jī)藥品,一部分不感光,易溶于有機(jī)藥品,以而制得選擇擴(kuò)散所...
微流控光刻掩膜在微流控芯片制造中扮演著至關(guān)重要的角色。它的主要作用是通過曝光和顯影等工序,將掩膜上已設(shè)計(jì)好的圖案轉(zhuǎn)移到襯底的光刻膠上,進(jìn)行圖像復(fù)制,從而...
微流控光刻掩膜的制作過程涉及多個(gè)步驟,?包括設(shè)計(jì)、?制版、?曝光、?顯影、?刻蝕等,?最終形成具有特定圖形結(jié)構(gòu)的掩膜版。? 首先,?設(shè)計(jì)階段是制作掩膜版...
VCSEL激光在蝕刻和光刻中應(yīng)用廣泛,提高精度和效率。銀月光科技提供多波長(zhǎng)VCSEL激光器,定制化服務(wù),助力工業(yè)生產(chǎn)高效高質(zhì)量。未來,更多種類VCSEL...
來源:Silicon Semiconductor ? SkyWater位于明尼蘇達(dá)的工廠旨在擁有世界上最先進(jìn)的200毫米光刻技術(shù)。 SkyWater T...
友思特應(yīng)用 硅片上的光影貼合:UV-LED曝光系統(tǒng)在晶圓邊緣曝光中的高效應(yīng)用
晶圓邊緣曝光是幫助減少晶圓涂布過程中多余的光刻膠對(duì)電子器件影響的重要步驟。友思特 ALE/1 和 ALE/3 UV-LED 高性能點(diǎn)光源,作為唯一可用...
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