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標(biāo)簽 > 光刻工藝
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“ 光刻作為半導(dǎo)體中的關(guān)鍵工藝,其中包括3大步驟的工藝:涂膠、曝光、顯影。三個步驟有一個異常,整個光刻工藝都需要返工處理,因此現(xiàn)場異常的處理顯得尤為關(guān)鍵”
在萬物互聯(lián),AI革命興起的今天,半導(dǎo)體芯片已成為推動現(xiàn)代社會進(jìn)步的心臟。而光刻(Lithography)技術(shù),作為先進(jìn)制造中最為精細(xì)和關(guān)鍵的工藝,不管是...
在本文中,我們將重點(diǎn)介紹半導(dǎo)體封裝的另一種主要方法——晶圓級封裝(WLP)。本文將探討晶圓級封裝的五項(xiàng)基本工藝,包括:光刻(Photolithograp...
2024-01-24 標(biāo)簽:半導(dǎo)體封裝芯片封裝晶圓級封裝 1731 0
光刻工藝就是把芯片制作所需要的線路與功能做出來。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖...
2023-12-04 標(biāo)簽:半導(dǎo)體光刻機(jī)半導(dǎo)體制造 3452 0
晶圓顯影過程是光刻工序中必不可少的步驟,顯影過程已經(jīng)經(jīng)歷了幾十年的創(chuàng)新和進(jìn)步。那么常見的顯影方式有幾種?顯影液的種類有哪些?顯影的機(jī)理是什么?顯影主要的...
光學(xué)鄰近效應(yīng)修正技術(shù)的基本知識
在上一節(jié)計(jì)算光學(xué)小講堂中,我們學(xué)習(xí)了光源掩模協(xié)同優(yōu)化(source mask co-optimization, SMO)的相關(guān)知識。這一節(jié)我們將主要探索...
2023-09-01 標(biāo)簽:OPC光學(xué)系統(tǒng)光刻機(jī) 5250 0
光刻是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)流程中最復(fù)雜、最關(guān)鍵的工藝步驟,耗時長、成本高。半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的難點(diǎn)和關(guān)鍵點(diǎn)在于將電路圖從掩模上轉(zhuǎn)移至硅片上,這一過程通過光刻來實(shí)現(xiàn)...
埃瑞微半導(dǎo)體前道套刻設(shè)備總部項(xiàng)目簽約無錫高新區(qū)
據(jù)了解,無錫埃瑞微半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司以集成電路的全會工程正在專心研發(fā)制造量測量設(shè)備,為光刻工藝的大量生產(chǎn)誤差為代表的夾注測量設(shè)備和其他缺陷正在致力提...
2023-12-04 標(biāo)簽:集成電路光刻工藝半導(dǎo)體設(shè)備 573 0
如今,光刻技術(shù)已成為一項(xiàng)容錯率極低的大產(chǎn)業(yè)。全球領(lǐng)先的荷蘭公司 ASML 也是歐洲市值最大的科技公司。它的光刻工具依賴于世界上最平坦的鏡子、最強(qiáng)大的商用...
該工序使用涂膠裝置(涂膠機(jī))。為了去除光刻膠中含有的溶劑,在70 ~ 90°C的溫度下進(jìn)行前烘(Pre -Bake)。在曝光裝置上“繪制”掩膜圖形。接下...
2022-12-09 標(biāo)簽:光刻工藝 8318 0
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