利用臭氧微泡清洗半導(dǎo)體晶片

介紹

小氣泡顯示出與普通氣泡不同的行為。普通氣泡在水中急速浮起，在表面破裂消失。但是，如果成為直徑小于50μm的氣泡，則會(huì)慢慢浮起并縮小，最終在水中消失。在水中變小消失（或者看起來(lái)消失）的氣泡在這里被稱(chēng)為微氣泡。微氣泡在水中急劇縮小的原因是，由于它是小氣泡，內(nèi)部的氣體有效地溶解在周?chē)乃小馀莸倪@種縮小意味著“氣液界面”的變化，具有重要的工程學(xué)意義，即氣泡內(nèi)部壓力的上升和表面電荷的濃縮，以及對(duì)發(fā)揮作用的固體表面的洗滌效果的表現(xiàn)。

臭氧微泡清洗半導(dǎo)體晶片

半導(dǎo)體是支撐現(xiàn)代社會(huì)最重要的電子零部件。在該制造中使用了被稱(chēng)為***的技術(shù)，在該制造中清洗是非常重要的工序之一。一直以來(lái)，半導(dǎo)體晶圓的清洗中使用了強(qiáng)力的藥液。其中，在光刻膠（感光性有機(jī)物）的去除中使用了硫酸過(guò)水（SPM:硫酸+過(guò)氧化氫/150℃）。該藥液雖然發(fā)揮了強(qiáng)力的清洗力，但由于存在廢液處理和安全上的問(wèn)題，因此在接近室溫的條件下以“水”為基礎(chǔ)進(jìn)行清洗被認(rèn)為是夢(mèng)想中的技術(shù)。因此，我們一直在推進(jìn)利用微氣泡的半導(dǎo)體晶圓清洗技術(shù)的開(kāi)發(fā)。

微泡的特征

為了明確顯示微氣泡的特征，我們對(duì)兩個(gè)模型進(jìn)行了比較。也就是說(shuō)，漂浮在空中的“水滴”和漂浮在水中的“氣泡”。這兩者雖然看起來(lái)相似，但一個(gè)是被空氣包圍的水的塊，另一個(gè)是被水包圍的空氣的塊。雖然都是具有氣液界面的存在，但是想著眼于“動(dòng)態(tài)的變化”這一點(diǎn)，對(duì)兩者進(jìn)行比較。下小水滴和小氣泡，都是被水和氣體的邊界（氣液界面）包圍的存在，表面張力作用于這些氣液界面。這個(gè)表面張力，從宏觀的角度來(lái)看，是使其表面變小的作用力?？梢灶A(yù)測(cè)細(xì)微的水滴和氣泡保持著接近真球的形狀。當(dāng)這個(gè)界面帶有縮小的作用力時(shí)，結(jié)果被界面包圍的對(duì)象被“加壓”。這個(gè)內(nèi)壓的上升，用楊氏拉普拉斯的公式來(lái)表示。

微小個(gè)體的特征是表面積相對(duì)于體積變大，即比表面積的增加，這對(duì)個(gè)體的壽命有很大的影響，即液滴通過(guò)蒸發(fā)而消失，氣泡通過(guò)溶解而消失。在此，環(huán)境具有重要的意義，與平衡條件的差異成為現(xiàn)象中的主要驅(qū)動(dòng)力。在此，兩者之間產(chǎn)生了決定性的差異。也就是說(shuō)，水滴受到周?chē)鸂顩r的強(qiáng)烈影響，而氣泡通過(guò)自身的力量創(chuàng)造出有利于溶解的環(huán)境。

微泡帶電

當(dāng)考慮微泡的效果時(shí)，內(nèi)部壓力的增加是一個(gè)關(guān)鍵字，其具有產(chǎn)生“過(guò)飽和”的效果。然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，存在比壓力更重要的因素，這是氣泡的電特性。實(shí)際上，該特性也是由“界面”產(chǎn)生的效果，并且是導(dǎo)致界面縮小的微泡中非常獨(dú)特的結(jié)果的根源。圖1表示電泳單元中微氣泡的移動(dòng)軌跡。在兩側(cè)配置電極，斷斷續(xù)續(xù)地切換正負(fù)時(shí)，氣泡在Z字形運(yùn)動(dòng)的同時(shí)上升。通過(guò)分析該運(yùn)動(dòng)，可以讀取氣泡所具有的電學(xué)特征。

圖1 電泳槽中微氣泡的移動(dòng)軌跡（約3秒）

試著進(jìn)行了如下的實(shí)驗(yàn)。蒸餾水中的微氣泡的zeta電位是，試著在這個(gè)水中添加了少量的酒精。其結(jié)果，即使添加甲醇和乙醇，zeta電位也不會(huì)有太大的變化。但是，如果添加丙醇和丁醇，這個(gè)電位量就會(huì)開(kāi)始劇烈波動(dòng)（參照?qǐng)D2）。由于酒精本身沒(méi)有帶電荷，所以這個(gè)結(jié)果被認(rèn)為是意料之外的現(xiàn)象。但是，這個(gè)結(jié)果在考慮氣泡帶電的基礎(chǔ)上成為了重要的指標(biāo)。

圖2 向蒸餾水中加入0.5%丙醇時(shí)微泡的ζ電位

甲醇和乙醇是與水完全混合的物質(zhì)。與此相對(duì)，碳基稍長(zhǎng)的丙醇和丁醇雖然在某種程度上能溶于水，但也帶有疏水性的性質(zhì)。其結(jié)果是，酒精分子有聚集在氣液界面的傾向。如前所述，水分子的集團(tuán)形成了結(jié)構(gòu)。一般認(rèn)為，酒精的存在多少會(huì)對(duì)該結(jié)構(gòu)產(chǎn)生影響。特別是當(dāng)丙醇和丁醇聚集在界面上時(shí)，氣液界面本來(lái)具有的水分子的結(jié)構(gòu)就會(huì)受到很大的破壞。雖然沒(méi)有向杯子中的水中添加帶電粒子（離子類(lèi)），但微氣泡的zeta電位發(fā)生劇變的現(xiàn)象表明，水電離產(chǎn)生的H+和OH―的分布對(duì)氣液界面的帶電起到了重要的作用。另外，水的結(jié)構(gòu)很有可能與該分布有很大的關(guān)系。

總結(jié)

在最初，我們期待著伴隨微氣泡作用的化學(xué)效果。當(dāng)然，這是通過(guò)活性物質(zhì)的生成等伴隨著很大的作用，在半導(dǎo)體的清洗中也是不可忽視的影響因素。但是，考慮到臭氧微氣泡的剝落情況和氧微氣泡的效果，我們認(rèn)為微氣泡的物理效果和電荷特性也是不可忽視的。特別是作為微氣泡的特征，動(dòng)態(tài)變化是重要的原因，在其過(guò)程中，例如表面電荷的濃縮被認(rèn)可。在完全消失的時(shí)候，雖然也會(huì)產(chǎn)生羥基自由基等活性物質(zhì)，但其遷移過(guò)程中的靜電效應(yīng)也可能在清洗中起著重要的作用。

這種機(jī)理的探討，與清洗的技術(shù)相關(guān)聯(lián)，期待著有很大的突破。事實(shí)上，通過(guò)實(shí)施簡(jiǎn)單的方法，成功地將利用微氣泡的光刻膠的去除速度提高了5倍左右。

　　審核編輯：湯梓紅