表面欠陥検査裝置「魔鏡」
本設(shè)備應(yīng)用魔鏡的原理，高靈敏度地檢查鏡面樣品的表面狀態(tài)?？梢愿哽`敏度地檢測(cè)樣品表面上的不均勻性，翹曲，拋光不均勻性等，檢測(cè)結(jié)果在監(jiān)視器上用亮度（白）和暗度（黑）表示。檢查可以在非接觸和非破壞性的情況下進(jìn)行，并且可以立即確認(rèn)樣品的表面狀態(tài)。這是一款使用免維護(hù)光學(xué)系統(tǒng)，可操作性優(yōu)異的設(shè)備。
原理： 基于事前所設(shè)定的缺陷判斷的閾値，使所取得的圖像，缺陷種類的判別，缺陷部位的可視化，位置坐標(biāo)算出，缺陷尺寸表示等進(jìn)行自動(dòng)解析，可在界面針對(duì)數(shù)據(jù)，對(duì)缺陷進(jìn)行逐一觀測(cè)。
特長(zhǎng) 用途
１．所有的表面狀態(tài)都是即時(shí)的。 ○鏡面晶圓的表面檢查
２．我們的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)是1級(jí)的。 ○滑移線的檢查
３．光學(xué)系統(tǒng)是免維護(hù)的。 ○玻璃基板的檢測(cè)
４．根據(jù)檢查內(nèi)容，檢測(cè)靈敏度/檢測(cè)放大率 ○其他鏡面基板的檢測(cè)
○Film等的基板以外的檢查
５．根據(jù)每個(gè)樣品和檢查位置定制最佳光學(xué)系統(tǒng)。
