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芯茂(嘉興)半導(dǎo)體科技有限公司

芯茂(嘉興)半導(dǎo)體科技有限公司是一家專注于半導(dǎo)體裝備本土化制造的高科技公司。

21 內(nèi)容數(shù) 1.4w 瀏覽量 12 粉絲

RF射頻電源

型號(hào): SG5500

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • Arc Manage 1 Detection & Suppression
  • Dynamic Re 《10 ms
  • Power Thre 5to 5000W
  • Power Accu ± 1%
  • ReflectedP 1300 W
  • Sag ∕ Surg SEMI 1-47
  • Input Powe 170~260V-3ph
  • Weight 38 kg

--- 數(shù)據(jù)手冊(cè) ---

--- 產(chǎn)品詳情 ---

         還在用 AE 還是 MKS 的RF電源嗎?

        RF Generator System取代AE,MKS電源,是您理性的選擇。

        SUNSAY的RF電源跟AE和MKS的RF電源據(jù)有互換性 。同時(shí)SUNSAY是Applied,LAM,TEL的OEM廠家。

        阻燃設(shè)計(jì),不會(huì)引發(fā)火災(zāi)。

        直流,交流,射頻均使用特氟龍電線。

        RF放大器分成多組,每組功率限制在1.5kW以下。

       DC inverter分成多組,每組輸出功率限制在3kW以下(成本是mks inverter的4倍)。每組inverter內(nèi)置保險(xiǎn)絲,同時(shí)每組都有各自的CPU檢測(cè)電壓

       和電流SUNSAY電源里有多達(dá)8個(gè)CPU.

       每組DC inverter和RF放大器都留有2倍的余量配合過流保護(hù)開關(guān)形成多重保護(hù)。

      
 

 

 

 

        

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