RF射頻電源
型號(hào):
SG5500
還在用 AE 還是 MKS 的RF電源嗎?
RF Generator System取代AE,MKS電源,是您理性的選擇。
SUNSAY的RF電源跟AE和MKS的RF電源據(jù)有互換性 。同時(shí)SUNSAY是Applied,LAM,TEL的OEM廠家。
阻燃設(shè)計(jì),不會(huì)引發(fā)火災(zāi)。
直流,交流,射頻均使用特氟龍電線。
RF放大器分成多組,每組功率限制在1.5kW以下。
DC inverter分成多組,每組輸出功率限制在3kW以下(成本是mks inverter的4倍)。每組inverter內(nèi)置保險(xiǎn)絲,同時(shí)每組都有各自的CPU檢測(cè)電壓
和電流SUNSAY電源里有多達(dá)8個(gè)CPU.
每組DC inverter和RF放大器都留有2倍的余量配合過流保護(hù)開關(guān)形成多重保護(hù)。