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MEMS傳感器

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MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。

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MEMS傳感器簡介

  MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內的幾百種產品,其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

MEMS傳感器百科

  MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內的幾百種產品,其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

  分類

  MEMS氣體流量傳感器:高精度,檢測流量范圍廣,適用于各種需求的流量計測。

  MEMS壓力傳感器:性能偏差小的MEMS壓力傳感器。

  MEMS非接觸溫度傳感器:對靜止人體也能檢測,高靈敏度的人體感應傳感器。

  MEMS開關:高頻,小型,長壽命的MEMS開關。

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mems傳感器知識

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mems傳感器技術

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對于釋放應力杯并完成封裝的MEMS器件來說,高溫或高濕老化可能會影響硅膜的彈性形變,而長時間的壓力負載也可能導致硅膜疲勞。這些損害會造成MEMS特性參數(shù)...

2018-04-29 標簽:傳感器壓力傳感器MEMS傳感器 4.8萬 0

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MEMS傳感器四大應用領域詳解

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2016-12-06 標簽:壓力傳感器mems傳感器加速度計 2.4萬 0

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陀螺儀因其獨特的性質,被廣泛應用在導航系統(tǒng)(航空航海)、運動分析與控制、平臺的穩(wěn)定性檢測與控制、滾動檢測、轉速控制、高要求的慣性測量單元、機器人控制系統(tǒng)...

2017-11-30 標簽:傳感器陀螺儀MEMS傳感器 1.6萬 0

MEMS加速度計工作原理介紹

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由上電容、中電容板(可移動)、下電容板等組成;當加速度達到一定值后,中電容板會移動,與上、下電容板的距離就會變化,上、下電容因此變化。

2020-06-05 標簽:信號處理MEMS傳感器加速度計 1.3萬 0

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2018-04-12 標簽:人工智能MEMS傳感器工業(yè)機器人 1.1萬 0

ST/博世/Invensense最新6軸MEMS傳感器解決方案

傳感器與傳感器中樞(sensor hub)在可穿戴設備乃至物聯(lián)網(wǎng)應用中扮演的角色越來越重要,MEMS傳感器的精確度決定了所收集信息的品質,而傳感器中樞則...

2016-05-09 標簽:STMEMS傳感器Invensense 9680 1

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MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem),微機電系統(tǒng)是指可批量制作的,將微型機構、微型傳感器、微型...

2018-09-06 標簽:半導體麥克風mems傳感器 8.5萬 0

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2020-09-13 標簽:傳感器MEMS傳感器 4.1萬 0

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工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)3000億市場規(guī)模 兩大支柱三點思考

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數(shù)字技術的發(fā)展推動人類社會邁向數(shù)字新時代

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2020-06-08 標簽:攝像頭MEMS傳感器數(shù)字技術 1.4萬 0

干貨!中國MEMS產業(yè)分析:小器件有大未來

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士蘭微MEMS傳感器的作用及應用體現(xiàn)

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2017-11-29 標簽:士蘭微mems傳感器 1.3萬 1

中國MEMS十強企業(yè)榜單分享 歌爾聲學 蘇州納芯微等上榜

近年來 以蘇州納米城為依托的 園區(qū)納米技術應用產業(yè)集群 煥發(fā)出勃勃生機 城內眾多企業(yè)發(fā)展勢頭迅猛 蘇州工業(yè)園區(qū)已成為 國內納米產業(yè)和人才集聚度最高的區(qū)域...

2020-09-03 標簽:memsMEMS傳感器歌爾聲學 1.2萬 0

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