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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>不同清洗方法對納米顆粒表征的影響

不同清洗方法對納米顆粒表征的影響

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2022-03-02 13:56:46521

超細金屬顆粒在硅片表面的行為研究

方法。使用氣體沉積方法將直徑為幾納米到幾百納米的超細金屬顆粒沉積在硅表面。研究了使用各種清潔溶液去除超細顆粒的效率。APM(NH4OH~H2O2-H2O)清洗可以去除150nm的Au顆粒,但不能去除直徑小于幾十納米的超細Au顆粒。此外,當(dāng)執(zhí)行 DHF-H2O2 清洗
2022-03-03 14:17:36376

半導(dǎo)體工藝—晶片清洗工藝評估

摘要 本文介紹了半導(dǎo)體晶片加工中為顆粒去除(清洗)工藝評估而制備的受污染測試晶片老化的實驗研究。比較了兩種晶片制備技術(shù):一種是傳統(tǒng)的濕法技術(shù),其中裸露的硅晶片浸泡在充滿顆粒的溶液中,然后干燥;另一種
2022-03-04 15:03:502588

二氧化碳溶解水清洗方法

兆頻超聲波清洗已被用于去除集成電路器件的硅晶片制造中的缺陷,例如顆粒和聚合物/抗蝕劑殘留物。然而,隨著器件技術(shù)節(jié)點的縮小,兆頻超聲波清洗正面臨著保持高清洗效率的挑戰(zhàn),這種高清洗效率是由較小顆粒的穩(wěn)定
2022-03-08 14:05:54928

詳解微米級顆粒清洗新技術(shù)

近年來,微米級低溫固體微粒的熱流體機械高功能性在應(yīng)用于高熱發(fā)射器件的超高熱通量冷卻技術(shù)領(lǐng)域受到關(guān)注。為了在先進的納米技術(shù)領(lǐng)域有效利用這種低溫固體顆粒的高性能,我們實驗室開發(fā)了一種新的物理半導(dǎo)體清洗方法,該方法采用低溫噴霧。
2022-03-15 11:23:04737

兩種不同類型的兆頻超聲波清洗方法

兆頻超聲波清洗已被用于去除集成電路器件的硅晶片制造中的缺陷,例如顆粒和聚合物/抗蝕劑殘留物。然而,隨著器件技術(shù)節(jié)點的縮小,兆頻超聲波清洗正面臨著保持高清洗效率的挑戰(zhàn),這種高清洗效率是由較小顆粒的穩(wěn)定
2022-03-30 14:33:50995

DIO3、單晶圓超晶圓及其混合半導(dǎo)體清洗方法

光刻膠去除率。但顆粒去除效率(PRE)非常低,達到PRE的75%。這是因為傳統(tǒng)DiO3濕清洗系統(tǒng)中DiO3濃度低、pH值低。
2022-04-11 14:03:281672

PVA刷接觸式清洗過程中超細顆粒清洗現(xiàn)象

Polishing)工程。 工藝后晶圓上殘留納米粒子,成為產(chǎn)生缺陷產(chǎn)品的原因[1, 2]拋光后的清洗之一是利用軟PVA(Polyvinyl Alcohol)刷直接接觸清洗晶圓。 通過具有內(nèi)部孔和結(jié)構(gòu)凹凸的刷子
2022-04-15 10:53:51516

硅晶片的清洗技術(shù)

本文闡述了金屬雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)在硅片表面的粘附機理,并提出了一些清洗方法
2022-05-11 16:10:274

一種拋光硅片表面顆粒和有機污染物的清洗方法

本文提出了一種拋光硅片表面顆粒和有機污染物的清洗方法,非離子型表面活性劑可以有效地去除表面上的顆粒,因為它可以顯著降低液體的表面張力和界面張力,非離子型表面活性劑分子具有親水和疏水兩部分,實驗選擇了脂肪醇-聚氧乙烯醚作為一種非離子型表面活性劑,這種非離子表面活性劑不能被電離,因此不會帶來離子污染物。
2022-05-18 16:01:22829

晶片表面沉積氮化硅顆粒的沉積技術(shù)

評估各種清洗技術(shù)的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過所需的清洗工藝處理晶片。國家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖規(guī)定了從硅片上去除顆粒百分比的標準挑戰(zhàn),該挑戰(zhàn)基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:381242

納米顆粒的磁場驅(qū)動控制平臺設(shè)計

實驗內(nèi)容:設(shè)計一套精準的磁場操控平臺,并制備兩種不同類型磁性顆粒;研究了均勻型磁性顆粒在磁場下的成鏈的機理,給出成鏈模型,通過實驗研究了不同因素對成鏈的影響。探索了一種新的流場顯示方法,利用磁性納米
2022-06-21 15:14:25995

單次清洗晶圓的清洗方法及解決方案

本文講述了我們?nèi)A林科納的一種在單個晶圓清洗工藝中使用新型清洗溶液的方法,該方法涉及在單一晶片模式下使用清洗溶液,并且清洗溶液包括至少包括氫氧化銨(NH-OH)、過氧化氫(HO)、水(HO)和螯合劑
2022-06-30 17:22:112101

濕法清洗中去除硅片表面的顆粒

用半導(dǎo)體制造中的清洗過程中使用的酸和堿溶液研究了硅片表面的顆粒去除。
2022-07-05 17:20:171683

聲流控技術(shù)突破傳統(tǒng)聲流體技術(shù)在納米生物顆粒濃縮及分離上尺寸限制

生物納米顆粒是指粒徑范圍為1-1000納米的生物微粒群(如細胞外泌體、病毒、脂質(zhì)體等)。由于其尺寸小,可以長期在其內(nèi)循環(huán)并且透過生物屏障。
2022-08-29 16:25:181915

功率放大器在磁性微納米顆粒微流體操控研究中的應(yīng)用

實驗內(nèi)容:設(shè)計一套精準的磁場操控平臺,并制備兩種不同類型磁性顆粒;研究了均勻型磁性顆粒在磁場下的成鏈的機理,給出成鏈模型,通過實驗研究了不同因素對成鏈的影響。探索了一種新的流場顯示方法,利用磁性納米
2022-11-02 16:17:10364

石墨烯(Graphene)常見的表征方法

石墨烯該如何表征呢?今天給大家介紹幾種對石墨烯來說常見的表征方法,主要包括SEM、TEM、AFM、FT-IR、Raman、PL、UV-Vis、NH3-TPD、XRD、XPS、分子動力學(xué)(AIMD)模擬、EPR等。
2022-12-13 13:54:302015

電路板PCBA手工清洗和自動清洗的流程和方法

PCBA加工過程完成之后,常會看到PCBA表面會有許多殘留物,這些殘留物不僅影響美觀,而且還對PCBA的質(zhì)量造成影響,因此,PCBA的清洗是非常重要的,接下來為大家介紹手工清洗和自動清洗方法
2023-02-09 14:42:463324

功率放大器在磁性微納米顆粒微流體操控研究中的應(yīng)用

了不同因素對成鏈的影響。探索了一種新的流場顯示方法,利用磁性納米鏈對微尺度下氣泡潰滅時的流場進行顯示;還通過氣泡驅(qū)動-磁場導(dǎo)航的方式, 對非均勻型磁性顆粒進行精準操控,實現(xiàn)了微尺度下微納米磁性顆粒的定向?qū)Ш竭\動,并
2023-05-08 11:35:01265

什么是晶圓清洗

晶圓清洗工藝的目的是在不改變或損壞晶圓表面或基板的情況下去除化學(xué)雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)。晶圓表面必須保持不受影響,這樣粗糙、腐蝕或點蝕會抵消晶圓清潔過程的結(jié)果
2023-05-11 22:03:03783

基于銀納米顆粒/銅納米線復(fù)合材料的電化學(xué)無酶葡萄糖傳感器

研究人員首先對銀納米顆粒/銅納米線進行了合成,并對制備的銅納米線和化學(xué)沉積后負載不同尺寸銀納米顆粒的銅納米線進行了形貌和結(jié)構(gòu)表征(圖1)。隨后,利用制備的銀納米顆粒/銅納米線材料制備獲得銀納米顆粒/銅納米線電極,用于后續(xù)無酶葡萄糖傳感性能的研究。
2023-05-12 15:19:28631

功率放大器在磁性微納米顆粒微流體操控研究中的應(yīng)用

了不同因素對成鏈的影響。探索了一種新的流場顯示方法,利用磁性納米鏈對微尺度下氣泡潰滅時的流場進行顯示;還通過氣泡驅(qū)動-磁場導(dǎo)航的方式,對非均勻型磁性顆粒進行精準操控,實
2022-12-12 09:40:29331

清劑產(chǎn)生液體顆粒污染主要原因及管控辦法

清洗劑液體顆粒計數(shù)器. 采用英國普洛帝核心技 術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精 密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、 超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃
2023-06-09 11:12:17252

用于研究單個納米顆粒表面的顯微光譜

能保證完全的分子交換。單納米顆粒散射實驗可以深入了解分子交換的程度,峰移和展寬與分子附著的增加相關(guān)。這種方法的優(yōu)點是它不受常用的體集成測量期間固有存在的同源展寬的影響。 András Deák研究的另一個方面集中在自組裝上,即納米粒子
2023-11-15 10:33:52174

使用ICP-MS/MS進行光伏硅片表面Ti納米顆粒表征的實驗過程

使用至光伏/半導(dǎo)體制造工藝的不同環(huán)節(jié)中,這可能會帶來更多新材料成分的納米顆粒潛在污染,亟需對硅片表面納米顆粒進行尺寸和數(shù)量的表征。
2024-01-11 11:29:04348

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