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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>電子技術(shù)>首臺國產(chǎn)12英寸PECVD設(shè)備誕生

首臺國產(chǎn)12英寸PECVD設(shè)備誕生

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上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入

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PECVD量產(chǎn)設(shè)備。迅立光電自主研發(fā)的PERC設(shè)備是國際上首臺成功使用射頻(RF)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)制作氧化鋁和氮化硅雙層薄膜的真空鍍膜設(shè)備,代表國際最先進(jìn)水平。迅立光電技術(shù)核心
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根據(jù)媒體報導(dǎo),中國晶圓代工廠商中芯國際的天津廠,日前舉行了 P2 Full Flow 擴(kuò)產(chǎn)計劃的首臺設(shè)備進(jìn)駐儀式。而檢測設(shè)備大廠柯磊國際 (KLA-Tencor China) 的 RS200 型檢測設(shè)備,就是該次中芯國際天津廠的首臺進(jìn)駐設(shè)備。
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日前上海新昇日前在互動平臺表示生產(chǎn)的12英寸晶圓已經(jīng)通過了華力微電子的認(rèn)證,今年底產(chǎn)能可達(dá)10萬片/月,而最終的產(chǎn)能高達(dá)60萬片/月。
2018-07-30 14:28:363990

世界先進(jìn)取消新設(shè)12英寸廠計劃,將全力擴(kuò)充8英寸產(chǎn)能

世界先進(jìn)新建12英寸廠投資計劃喊卡。世界先進(jìn)董事長方略昨(7)日主持第2季法說會時指出,經(jīng)營團(tuán)隊經(jīng)2年時間評估,考量投資新廠資金耗費龐大、建廠時程長及新客戶拓展不易等諸多因素,加上設(shè)備商已重新開發(fā)8英寸設(shè)備, 決定取消新設(shè)12英寸廠計劃,董事會也同意將資金轉(zhuǎn)向全力擴(kuò)充8英寸產(chǎn)能。
2018-08-09 15:49:002422

華力二期12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線項目已建成投片 比預(yù)期提前2個月

繼5月21日首臺光刻機(jī)移入后,華力二期12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(華虹六廠)再次迎來重大進(jìn)展。
2018-10-19 15:40:283511

新傲科技SOI30K生產(chǎn)線項目首臺工藝設(shè)備搬入

3月12日,硅基半導(dǎo)體材料企業(yè)新傲科技舉辦“SOI 30K生產(chǎn)線項目首臺工藝設(shè)備搬入儀式”,標(biāo)志著其SOI 30K建設(shè)進(jìn)入沖刺階段。
2019-03-14 16:00:573746

北京燕東微電子8英寸生產(chǎn)線建設(shè)項目首臺設(shè)備搬入 為年底出產(chǎn)2萬片晶圓打下了堅實基礎(chǔ)

6月25日,北京燕東微電子科技有限公司(以下簡稱“燕東微電子”)8英寸生產(chǎn)線建設(shè)項目迎來首臺設(shè)備搬入。
2019-06-26 16:35:3314903

燕東微電子8英寸項目首批設(shè)備搬入

6月25日,北京燕東微電子科技有限公司(以下簡稱“燕東微電子”)8英寸生產(chǎn)線建設(shè)項目迎來首臺設(shè)備搬入。
2019-06-27 09:02:037943

不只一臺刻蝕機(jī) 燕東微北京8英寸項目搬入多臺北方華創(chuàng)設(shè)備

近日,燕東微北京8英寸項目首批設(shè)備搬入,而北方華創(chuàng)制造的刻蝕機(jī)作為首臺設(shè)備搬入廠房。
2019-07-05 14:27:273761

燕東微北京8英寸項目還將搬入多臺北方華創(chuàng)設(shè)備

燕東微北京8英寸項目首批設(shè)備搬入,而北方華創(chuàng)制造的刻蝕機(jī)作為首臺設(shè)備搬入廠房。
2019-07-05 14:27:312798

衛(wèi)光科技六吋線二期高端功率器件項目首臺設(shè)備搬入 將實現(xiàn)VDMOS/IGBT芯片的國產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)化

3月18日,西安衛(wèi)光科技有限公司(衛(wèi)光科技)六吋線二期高端功率器件項目首臺重點工藝設(shè)備超薄晶圓減薄機(jī)DFG8540移入微晶微電子公司生產(chǎn)線。該設(shè)備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需
2020-03-25 11:24:153594

廣東首臺“天玥”自研國產(chǎn)計算機(jī)正式下線

據(jù)報道,10月28日,由中國航天科工二院七〇六所主辦的廣東省首臺“天玥”國產(chǎn)計算機(jī)下線儀式在廣州黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)舉行。
2020-10-29 16:31:481953

晶盛機(jī)電:12英寸加工設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化正在加速推進(jìn)

晶體生長、切片、拋光、外延加工設(shè)備全覆蓋,產(chǎn)品已經(jīng)批量進(jìn)入客戶產(chǎn)線,國產(chǎn)化加速落地;12英寸硅片晶體生長爐小批量出貨,12英寸加工設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化也在加速推進(jìn)。
2020-11-16 10:06:202070

凱世通與芯成科技簽署銷售合同,擬出售3臺12英寸集成電路設(shè)備

12月1日晚間,萬業(yè)企業(yè)發(fā)布公告顯示,萬業(yè)企業(yè)控股孫公司北京凱世通半導(dǎo)體有限公司(以下簡稱“北京凱世通”)與芯成科技(紹興)有限公司(以下簡稱“芯成科技(紹興)”)簽署銷售合同,擬出售3臺12英寸
2020-12-02 10:02:282197

中欣晶圓12英寸第一枚外延片正式下線,國內(nèi)首家獨立完成12英寸單晶企業(yè)

根據(jù)中欣晶圓官方的消息,中欣晶圓12英寸第一枚外延片正式下線,成為國內(nèi)首家獨立完成12英寸單晶、拋光到外延研發(fā)、生產(chǎn)的企業(yè)。 官方表示,12月28日杭州中欣晶圓迎來了具有歷史意義的一天:在12英寸
2020-12-31 09:44:144725

聯(lián)電12英寸晶圓代工價格開始跟進(jìn)調(diào)漲

價格陸續(xù)調(diào)漲后,12英寸晶圓代工價格也開始跟進(jìn)調(diào)漲。 受惠宅經(jīng)濟(jì)帶動消費性和計算機(jī)相關(guān)應(yīng)用需求持續(xù)成長,5G智能手機(jī)和物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的芯片比重也同步提升,聯(lián)電2020年第4季接單暢旺,產(chǎn)能利用率達(dá)95%。 ? 其中,8英寸晶圓代工產(chǎn)能嚴(yán)重供不應(yīng)
2021-01-06 09:46:302008

盛美半導(dǎo)體首臺12英寸單晶圓薄片清洗設(shè)備驗收 僅用6個月

盛美半導(dǎo)體官方消息顯示,1月8日,盛美半導(dǎo)體首臺應(yīng)用于大功率半導(dǎo)體器件制造的新款12英寸單晶圓薄片清洗設(shè)備已通過廈門士蘭集科量產(chǎn)要求,提前驗收。該設(shè)備于2020年5月20日作為首批設(shè)備之一搬入工廠
2021-01-14 09:32:002503

盛美半導(dǎo)體首臺12 寸單晶圓薄片清洗設(shè)備通過量產(chǎn)要求提前驗收

1月14日消息 盛美半導(dǎo)體官方發(fā)布,1 月 8 日,盛美半導(dǎo)體首臺應(yīng)用于大功率半導(dǎo)體器件制造的新款 12 寸單晶圓薄片清洗設(shè)備已通過廈門士蘭集科量產(chǎn)要求,提前驗收!該設(shè)備于 2020
2021-01-14 16:12:501940

半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化專題十:12英寸工藝設(shè)備國產(chǎn)

12英寸工藝設(shè)備國產(chǎn)化分析
2022-06-22 15:43:371

首臺ASML光刻機(jī)搬入!中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體晶圓廠將投產(chǎn)!

? 由上海建工四建集團(tuán)承建的臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機(jī)搬入儀式。這意味著, 首臺ASML光刻機(jī)搬入,中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造
2022-12-19 10:20:278839

盛美上海進(jìn)軍PECVD市場,支持邏輯和存儲芯片制造

PmaxTM等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD設(shè)備,拓展了一個重要的全新產(chǎn)品分類。盛美上海預(yù)計將在幾周內(nèi)向中國的一家集成電路客戶交付其首臺PECVD設(shè)備。 盛美上海首席執(zhí)行官王堅表示: “Ultra PmaxTM PECVD設(shè)備的推出,標(biāo)志著我們在前道半導(dǎo)體應(yīng)
2022-12-13 18:07:43782

中微公司推出12英寸薄膜沉積設(shè)備Preforma Uniflex? CW

近日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設(shè)備多年、在半導(dǎo)體薄膜沉積領(lǐng)域取得的新突破,也是實現(xiàn)公司業(yè)務(wù)多元化增長的新動能。
2023-05-17 17:08:41831

2024年12英寸晶圓廠投資將復(fù)蘇

預(yù)計到2026年,中國大陸的12英寸晶圓廠設(shè)備支出將達(dá)到161億美元。
2023-06-16 14:42:05796

積塔半導(dǎo)體12英寸產(chǎn)線順利通線

來源:上海積塔半導(dǎo)體有限公司 近日,積塔半導(dǎo)體12英寸汽車芯片先導(dǎo)線順利建成通線,標(biāo)志著積塔12英寸汽車芯片項目取得重大進(jìn)展,是積塔半導(dǎo)體實現(xiàn)12吋汽車芯片戰(zhàn)略的重要里程碑。 12英寸BCD產(chǎn)品
2023-06-26 17:37:03510

晶亦精微科創(chuàng)板IPO獲受理!主打8英寸CMP設(shè)備,募資16億研發(fā)及擴(kuò)產(chǎn)

所CMP事業(yè)部早在2017年便研制出國內(nèi)首臺擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的8英寸CMP設(shè)備,在CMP設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)積累深厚,是國內(nèi)唯一實現(xiàn)8英寸CMP設(shè)備境外批量銷售的設(shè)備供應(yīng)商。目前,晶亦精微主要為集成電路制造商提供8英寸12英寸和6/8英寸兼容CMP設(shè)備,在報告期內(nèi)其
2023-07-11 17:25:01626

北方華創(chuàng)發(fā)布首臺國產(chǎn)12英寸晶邊刻蝕機(jī)

據(jù)介紹,在器件制造過程中,由于薄膜沉積、光刻、刻蝕和化學(xué)機(jī)械拋光等工藝步驟的大幅增長,在晶圓的邊緣造成了不可避免的副產(chǎn)物及殘留物堆積,這些晶邊沉積的副產(chǎn)物及殘留物驟增導(dǎo)致的缺陷風(fēng)險成為產(chǎn)品良率的嚴(yán)重威脅。
2023-07-19 15:02:26607

首臺國產(chǎn)12英寸晶邊刻蝕機(jī)發(fā)布

Accura BE作為國產(chǎn)首臺12英寸晶邊刻蝕設(shè)備,其技術(shù)性能已達(dá)到業(yè)界主流水平。” Accura BE通過軟件系統(tǒng)調(diào)度優(yōu)化和特有傳輸平臺的結(jié)合,可以提升客戶的產(chǎn)能。
2023-07-19 16:50:011140

華海清科首臺12英寸單片終端清洗機(jī)HSC-F3400機(jī)臺出機(jī)

華海清科首臺12英寸單片終端清洗機(jī)HSC-F3400機(jī)臺出機(jī) 華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商,公司主要產(chǎn)品包括CMP設(shè)備、減薄設(shè)備、供液系統(tǒng)、晶圓再生、關(guān)鍵耗材
2023-09-05 15:52:04402

北方華創(chuàng)12英寸CCP晶邊干法刻蝕設(shè)備已在客戶端實現(xiàn)量產(chǎn)

9月17日,北方華創(chuàng)在投資者互動平臺表示,公司前期已經(jīng)發(fā)布了首臺國產(chǎn)12英寸CCP晶邊干法刻蝕設(shè)備研發(fā)成功有關(guān)信息,目前已在客戶端實現(xiàn)量產(chǎn),其優(yōu)秀的工藝均勻性、穩(wěn)定性贏得客戶高度評價。
2023-09-20 10:09:49559

增芯項目搬入首臺生產(chǎn)設(shè)備,預(yù)計2024年6月通線

據(jù)了解,增芯項目預(yù)計總投入70億元,一期正式投產(chǎn)后,每年將有24萬片12英寸晶圓的產(chǎn)能,主要應(yīng)用于汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)。此外,積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同融合,推動國產(chǎn)芯片制造和集成電路制造領(lǐng)域的自主創(chuàng)新
2023-12-28 13:51:53312

天馬Micro-LED產(chǎn)線項目首臺設(shè)備順利搬入

在2023年12月26日上午,天馬新型顯示技術(shù)研究院(廈門)有限公司(以下簡稱“公司”)舉行了一場盛大的首臺設(shè)備搬入儀式。這一重大時刻標(biāo)志著公司的項目已經(jīng)按照既定的規(guī)劃時間表,順利地從廠房建設(shè)和設(shè)備
2023-12-28 15:34:08342

中微公司Primo D-RIE?作為首臺設(shè)備順利搬入客戶生產(chǎn)線

增芯首臺設(shè)備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園舉行,增城區(qū)政府領(lǐng)導(dǎo)、增芯領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目
2023-12-28 17:12:50810

增芯12英寸MEMS量產(chǎn)線首臺設(shè)備搬入!來自國產(chǎn)半導(dǎo)體制造設(shè)備巨頭!

據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,12月28日,位于廣州的增芯科技MEMS量產(chǎn)線項目舉行首臺生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式, 本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司制造的Primo D-RIE刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺。 增芯12
2024-01-02 18:10:26423

芯豐精密交付首臺國產(chǎn)12英寸超精密晶圓環(huán)切設(shè)備

芯豐精密總經(jīng)理萬先進(jìn)指出,新設(shè)備采用了領(lǐng)先的高度智能化“控制-自反饋”技術(shù),能進(jìn)行精細(xì)到微米級別、全方位的晶圓邊緣精加工,從而顯著提升了生產(chǎn)效率與產(chǎn)品品質(zhì)。
2024-01-02 09:48:33288

北方華創(chuàng)國產(chǎn)12英寸HDPCVD設(shè)備進(jìn)入客戶生產(chǎn)線

北方華創(chuàng)最近研發(fā)出了一款12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(HDPCVD)設(shè)備,名為Orion Proxima,并已正式進(jìn)入客戶端驗證階段。這一創(chuàng)新標(biāo)志著北方華創(chuàng)在絕緣介質(zhì)填充工藝技術(shù)上取得了重大突破,同時也為該公司進(jìn)軍12英寸介質(zhì)薄膜設(shè)備領(lǐng)域,打開百億級市場鋪平了道路。
2024-01-09 18:17:35476

聯(lián)想首臺搭載國產(chǎn)AI算力芯片服務(wù)器成功交付

在聯(lián)想(全球)最大的智能計算設(shè)備研發(fā)和制造基地——聯(lián)寶科技,一場科技界的盛事吸引了業(yè)界的廣泛關(guān)注。這一天,中國領(lǐng)先的智能IT基礎(chǔ)設(shè)施提供商聯(lián)想成功交付了首臺可搭載國產(chǎn)AI算力芯片的聯(lián)想問天WA5480 G3服務(wù)器,標(biāo)志著中國在智算領(lǐng)域邁出了堅實的步伐。
2024-03-20 09:42:27176

聯(lián)想首臺可搭載國產(chǎn)AI算力芯片的聯(lián)想問天WA5480 G3服務(wù)器成功交付

3月19日,在聯(lián)想(全球)最大的智能計算設(shè)備研發(fā)和制造基地——聯(lián)寶科技,中國領(lǐng)先的智能IT基礎(chǔ)設(shè)施提供商聯(lián)想續(xù)寫智算新篇章:聯(lián)想首臺可搭載國產(chǎn)AI算力芯片的聯(lián)想問天WA5480 G3服務(wù)器成功交付。
2024-03-20 10:36:2799

聯(lián)想向燧弘華創(chuàng)交付首臺搭載國產(chǎn)AI算力芯片的問天WA5480 G3服務(wù)器

3月19日,在聯(lián)想集團(tuán)(全球)最大的智能計算設(shè)備研發(fā)和制造基地——聯(lián)寶科技,聯(lián)想集團(tuán)向燧弘華創(chuàng)交付聯(lián)想首臺可搭載國產(chǎn)AI算力芯片的聯(lián)想問天WA5480 G3服務(wù)器。
2024-03-22 09:40:5778

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