一、產(chǎn)品簡介
SJ6000平面光學激光干涉儀采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，這兩束光從而能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開始、結(jié)束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會實時顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對測量所得數(shù)據(jù)曲線進行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標準對被測件的各項參數(shù)進行合格判定，檢測結(jié)束后自動生成檢定結(jié)果。
二、特點優(yōu)勢
1、應用范圍廣：可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；在相關軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。
2、測量精度高：以激光干涉技術為核心，測量結(jié)果可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
3、采用先進的PSD技術（光電位置敏感檢測器，可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號），光路調(diào)節(jié)迅速、方便。一次安裝能測量6項精度指標包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角。
4、內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。具有動態(tài)測量分析功能，能夠?qū)崟r采集、顯示數(shù)據(jù)，可進行快速測量分析。
5、安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜；云臺自帶三維水平校正儀，安裝調(diào)光方便；斷光無影響，方便導軌的安裝調(diào)試；
6、界面友好，符合中國用戶操作習慣；
7、測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；
8、可從數(shù)據(jù)庫中選定多條記錄成批打印檢定記錄或者檢定證書；
9、可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；
10、具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫功能；
11、輸出多種Word格式報表，并支持自定義報表，定制檢定記錄報表和檢定證書的格式，適合國內(nèi)計量機構(gòu)對報表方面的要求。
三、技術參數(shù)
| 1 | 線性測長距離 | 40m |
| 2 | 線性測長精度 | ±（0.02+0.5L）um |
| 3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 4 | 分辨率 | 0.001um |
| 5 | 至大測量速度 | 4.0m/S |
| 6 | 動態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
| 7 | 預熱時間 | 5~10分鐘 |
| 8 | 環(huán)境補償精度 | 空氣壓力：±1.0mBar， 空氣濕度：±6%， 材料溫度：±0.1℃ |
| 9 | 基本重量(含三腳架，包裝) | 15Kg |
