中圖儀器VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
產(chǎn)品功能
1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量；
3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；
4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；
8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；
9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險。
不同應(yīng)用場景下的3D形貌
VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
3D形貌圖片：
影像測量功能界面
VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
部分技術(shù)指標
| 型號 | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 儀器重量 | 50kg | |
| 測量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
| 視場范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測量 | 重復(fù)性(1σ) | 12nm |
| 顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測量 | 重復(fù)性(1σ) | 40nm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| XY位移平臺 | 負載 | 10kg |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
| 物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
| 光源 | 白光LED | |
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