電子發(fā)燒友App

硬聲App

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

收藏

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴

評論

查看更多

相關推薦

面對EUV光刻技術,芯片制造商如何權衡復雜分類

除了阻抗,還有其他問題,即EUV掩模基礎設施。光掩模是給定IC設計的主模板。面膜開發(fā)之后,它被運到制造廠。將掩模放置在光刻工具中。該工具通過掩模投射光,這又掩模在晶片上的圖像。
2017-09-29 09:09:1712238

數(shù)據(jù)高效缺陷檢測技術有哪些

1. 摘要 CVPR VISION 23挑戰(zhàn)賽第1賽道 "數(shù)據(jù)智能缺陷檢測 "要求參賽者在數(shù)據(jù)缺乏的環(huán)境下對14個工業(yè)檢測數(shù)據(jù)集進行實例分割。本論文的方法聚焦于在有限訓練樣本的場景下提高缺陷掩模
2023-07-18 15:28:12364

什么是掩模版掩模版(光罩MASK)—半導體芯片的母板設計

掩模版(Photomask)又稱光罩、光掩模、光刻掩模版、掩膜版、掩膜板等,是光刻工藝中關鍵部件之一,是下游行業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具
2023-12-25 11:41:135424

2025年,全球集成電路(IC)光掩模市場總銷售有望達到1508.54百萬美元

`集成電路(IC)光掩模,又稱光罩、掩膜版、光刻掩膜版、掩模版等,是下游行業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具,是承載圖形設計和工藝技術等知識產(chǎn)權信息的載體。掩膜版用于下游電子元器件
2019-12-10 17:18:10

EUV熱潮不斷 中國如何推進半導體設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展?

ofweek電子工程網(wǎng)訊 國際半導體制造龍頭三星、臺積電先后宣布將于2018年量產(chǎn)7納米晶圓制造工藝。這消息使得業(yè)界對半導體制造的關鍵設備之極紫外光刻機(EUV)的關注度大幅提升。此后又有媒體
2017-11-14 16:24:44

種先分割后分類的兩階段同步端到端缺陷檢測方法

作者:SFXiang首發(fā):AI算法修煉營本文是種端到端的先分割后分類的表面缺陷檢測方法。主要的創(chuàng)新點在于如何將兩類任務更好地進行同步學習,本文首先平衡分割損失和分類損失,然后對負樣本的采樣方法
2020-07-24 11:01:50

缺陷檢測在工業(yè)生產(chǎn)中的應用

。項目難點◆鏡面字符成像存在陰影◆弧面字符般光源無法成像可解決問題◆字符缺損檢測◆字符多墨檢測◆充電器表面字符碰劃傷瑕疵檢測◆字符型號不符檢測檢測效果應用拓展據(jù)此,通過充電器字符缺陷檢測項目
2015-11-18 13:48:29

JCMSuite應用—衰減相移掩模

在本示例中,模擬了衰減相移掩模。該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。掩模的單元格如下圖所示:掩模的基板被具有兩個開口的吸收材料所覆蓋。在其中個開口的下方,位于相移區(qū)域。 由于這個例子是所謂的
2021-10-22 09:20:17

LCD段碼屏鉻版掩模版

`LCD段碼屏鉻版掩模版:此產(chǎn)品主要應用于STN段碼屏產(chǎn)品鉻版掩模版直是在IC生產(chǎn)中大量使用的光掩模版。鉻板的結(jié)構為在精密光學玻璃的表面面使用磁控濺射真空鍍膜的方式鍍鉻和氧化鉻。在鉻層的表面涂敷
2018-11-22 15:45:58

PCB生產(chǎn)中焊接掩模橋預處理的影響

銅層的表觀狀態(tài)同時發(fā)生變化,因此對銅表面本身的缺陷定的修復作用,但銅表面就像個輕微的溝槽?;鹕交矣糜趯⒒鹕交夷チ蠂娚涞窖心ポ伾弦允贡砻娲植?,因此銅表面可能是粗糙的。因此,可以改善焊接掩模和銅層
2019-08-20 16:29:49

[轉(zhuǎn)]產(chǎn)品表面缺陷檢測

、效率低等缺點,提高了生產(chǎn)效率和確保了產(chǎn)品質(zhì)量。 、產(chǎn)品表面缺陷檢測簡介: 產(chǎn)品表面缺陷檢測屬于種機器視覺技術,即采用計算機視覺來模擬人類視覺的功能,圖像采集處理,計算以及最終對特定對象的實際
2020-08-07 16:40:56

labview缺陷檢測

`請問下使用labview視覺函數(shù),怎么檢測圖示中缺陷部分?上面是合格的,下面藍色圈出來那部分不合格。我剛開始的想法是測量邊界距離,但是這樣只能隨機測量幾個點,感覺不靠譜,有沒有大神提供下思路。`
2018-10-20 14:29:54

labview怎么生成相位掩模

各位大俠,我是個labview的初學者,請教labview如何生成相位掩模,fd為分波后球面子波的曲率半徑,θ 為相移角
2017-01-09 09:37:01

labview玻璃缺陷檢測

有沒有大神做過labview玻璃缺陷檢測方面的項目?有償求項目資源,有償求缺陷玻璃圖片!
2017-05-10 22:54:11

labview的模版建立

本人大四狗,現(xiàn)在要做個視覺檢測,想要通過USB攝像頭識別元件,怎么建立這個元件的模版,最后用來定位,通過模版匹配的方式,求各位大神指點怎么建立模版
2016-03-12 21:36:13

labview零件缺陷檢測問題求助

小弟剛學labview不久,現(xiàn)在在做零件缺陷檢測,現(xiàn)有兩張二值圖:張位無損零件的輪廓二值圖;另張位缺陷零件輪廓二值圖。我該怎么把缺陷提出來呢?跪求高手出出招!!
2017-07-31 10:24:21

【KV260視覺入門套件試用體驗】三、缺陷檢測

、簡介 缺陷檢測加速應用程序是個機器視覺應用程序,它通過使用計算機視覺庫功能自動檢測芒果中的缺陷并在高速工廠管道中進行分類缺陷檢測應用 這是在Xilinx SOM嵌入式平臺上開發(fā)的缺陷檢測
2023-09-26 15:17:29

光耦PC817中解析

光耦PC817中解析
2012-08-20 14:32:28

分析低壓電容補償柜故障原因()-海斯電氣

控制器壽命,甚至燒壞控制器內(nèi)部重要元器件。如果取樣檢測信號倍率選取過大,會減小二次取樣電流值,造成欠流報警。上述就低壓電容補償柜故障做了具體的分析,為保證無功補償的正常運行,海斯電氣希望相關工作人員能夠了解原因,避免低壓電容補償柜故障。
2019-12-19 10:45:56

印制板模版制作工藝流程及品質(zhì)控制

  2.1 印制板模版的制作工藝流程如下:  2.2質(zhì)量要求:  (1)模版的尺寸精度必須與印制板設計圖紙所要求的精度相致??紤]到各廠家印 制板制作能力的不同,有時需根據(jù)生產(chǎn)工藝造成的偏差進行補償
2018-08-31 14:13:13

四元數(shù)數(shù)控:機器視覺檢測產(chǎn)品有什么缺陷檢測?

視覺檢測產(chǎn)品有什么缺陷檢測?相信不少人是有疑問的,今天四元數(shù)數(shù)控就跟大家解答下!這種技術的出現(xiàn),大大提高了生產(chǎn)作業(yè)的效率,避免了因作業(yè)條件,主觀判斷等影響檢測結(jié)果的準確性,實現(xiàn)能更好更精確地進行表面
2021-11-04 13:45:47

四元數(shù)數(shù)控:深圳機器視覺對手機外殼缺陷有什么檢測

對手機外殼缺陷有什么檢測?相信不少人是有疑問的,今天四元數(shù)數(shù)控就跟大家解答下!傳統(tǒng)的手機外殼缺陷檢測方法是人工檢測,但是人工檢測受人為主觀因素的干擾很大,人工檢測效率低,成本高,價格昂貴,在很大程度
2022-01-19 09:52:21

外觀檢測設備技術優(yōu)勢,外觀缺陷檢測原理解析

。 三、外觀檢測設備可檢測缺陷 產(chǎn)品外觀瑕疵檢測,也叫缺陷檢測,直是視覺行業(yè)的難點,主要體現(xiàn)在瑕疵干擾項多,對比度低,高度依賴打光處理,而玻璃表面的反光性更增加了其檢測難度,同時有很多被檢測物體還帶
2020-08-10 16:11:22

如何進行PET瓶缺陷檢測系統(tǒng)的設計?

為什么要設計種PET瓶缺陷檢測系統(tǒng)?怎樣去設計PET瓶缺陷檢測系統(tǒng)?有哪些步驟需要遵循?
2021-04-15 06:06:48

廣東機器視覺缺陷檢測系統(tǒng)在包裝袋封口檢測的應用

病人表現(xiàn)出的癥狀和各種化驗檢測數(shù)據(jù)來推斷病情,這個時候,醫(yī)生所使用的就是種歸納分類的思路,病人的單癥狀的分類與復合癥狀的精確分類。借助于圖像處理和計算機等自動化設備,視覺缺陷檢測系統(tǒng)已遠
2021-06-30 09:53:04

影響印刷缺陷檢測效果的因素有哪些

帶來難度;而且壓凸圖案由于低色差特性也給檢測帶來困難。  2、檢測精度的問題  基于攝像的印刷缺陷檢測系統(tǒng)其檢測依據(jù)是圖像的色彩信息,如果缺陷的尺寸或色差超出攝像的觀測范圍,這種缺陷理論上檢測不出,或者
2020-12-10 16:31:21

機器視覺檢測之產(chǎn)品缺陷檢測,提高產(chǎn)品良品率

的表面缺陷檢測是機器視覺檢測個重要部分,其檢測的準確程度直接會影響產(chǎn)品最終的質(zhì)量優(yōu)劣。四元數(shù)CCD視覺檢測定位系統(tǒng)使用圖像傳感器替代人眼,100%精確檢測物體表面缺陷、瑕疵,并對缺陷信息進行統(tǒng)計、分類
2020-08-10 10:47:43

機器視覺檢測系統(tǒng)在薄膜表面缺陷檢測的應用

工業(yè)半透明薄膜生產(chǎn)提供經(jīng)濟、簡易、適用的質(zhì)量評估方法。機器視覺薄膜表面缺陷檢測原理機器視覺檢測系統(tǒng)是個基于光電圖像采集與分析的自動化模塊,由LED光源、鏡頭、CCD工業(yè)相機、圖像采集卡等部分組成,廣泛
2020-10-30 16:15:47

機器視覺表面缺陷檢測技術

表面檢測之前,有幾個步驟需要注意。首先,要利用圖像采集系統(tǒng)對圖像表面的紋理圖像進行采集分析;第二,對采集過來的圖像進行步步分割處理,使得產(chǎn)品表面缺陷能像能夠按照其特有的區(qū)域特征進行分類;第三,在以上
2016-01-20 10:29:58

柔性印刷線路板缺陷檢測方法指南

產(chǎn)品分類方法很多,按照FPC貼合層數(shù)可分為:單面板、雙面板、多層板以及軟硬結(jié)合板?! ∪嵝杂∷⒕€路板缺陷檢測技術發(fā)展現(xiàn)狀  現(xiàn)有的FPC缺陷檢測算法多衍生于PCB檢測算法,但受本身獨特性限制,F(xiàn)PC板
2018-11-21 11:11:42

深圳CCD視覺檢測系統(tǒng)在陶瓷缺陷檢測的應用

和損失了勞動時間。CCD視覺檢測系統(tǒng)在陶瓷缺陷檢測中的應用可安裝基于計算機視覺的系統(tǒng),以提醒生產(chǎn)批次的樣品可能損壞,并進檢測塊瓷磚。此外,對缺陷進行自動分類,可以發(fā)現(xiàn)可能的硬件故障,有助于查找缺陷
2021-01-13 10:26:43

紗布瑕疵缺陷機器視覺檢測的應用

不需要“操作員”。表面檢測系統(tǒng)可以安裝在作為獨立的高速機器視覺檢測系統(tǒng)構建在現(xiàn)有產(chǎn)線或設備上。當檢測缺陷時,圖像與所有識別數(shù)據(jù)起存儲。按照圖像類型對缺陷進行分類,并在根據(jù)缺陷對位置進行物理標記和等級
2021-03-25 10:07:28

芯片缺陷檢測

Tips:需要了解項目細節(jié)或者相關技術支持,以下是聯(lián)系方式。(源碼中去掉了部分核心代碼,需要Github賬號,將項目Star之后截圖發(fā)到郵箱,我會把核心代碼進行回復)機器視覺項目----芯片缺陷檢測01 應用與背景封裝體檢測的內(nèi)容包括(括...
2021-07-23 06:42:27

薄膜瑕疵在線檢測系統(tǒng) 保護膜遮光膜缺陷污點檢測

,Smart Vision薄膜表面缺陷檢測系統(tǒng)能在線對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的表面缺陷瑕疵進行高速、精確的檢測,顯示和識別薄膜表面上的所有表面缺陷。能檢測分別出極小尺寸的臟污點、條紋、破損、邊緣裂縫、皺折、暗斑、亮斑
2021-12-16 10:37:28

表面檢測市場案例,SMT缺陷檢測

很多,種電路板從幾十種到幾百種缺陷,這對檢測人員要求很高;并且在檢測人員有崗位流動的情況下,要確保每個檢測人員達到合格水平是非常困難的。 ②對于體積小的電路板,上面的元器件及缺陷更加微小,人工檢測
2022-11-08 14:28:45

請問陀螺儀檢測有和缺陷

陀螺儀檢測有和缺陷?
2021-10-12 12:55:23

高清標準的分類解析

高清標準的分類解析
2009-12-18 14:56:55

軟件代碼缺陷分類及其應用

分析現(xiàn)有軟件缺陷分類方法,基于對航空型號軟件實施代碼審查的實際經(jīng)驗,提出較完善的代碼缺陷分類,將其應用于某航空型號軟件代碼審查,發(fā)現(xiàn)的缺陷占全部測試所得的75%。
2009-03-31 10:16:018

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源產(chǎn)品介紹:ISTEQ公司開發(fā)了種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒
2023-07-05 16:06:24

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源產(chǎn)品介紹:ISTEQ公司開發(fā)了種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒
2023-07-05 16:16:48

掩模ROM MCU,什么是掩模ROM MCU

掩模ROM MCU,什么是掩模ROM MCU 掩膜ROM型產(chǎn)品單價便宜,卻有額外增加開發(fā)費用的風險。掩膜ROM型產(chǎn)品的風險因素主要有二。首先是掩膜
2010-03-26 11:07:043695

油管缺陷的無損檢測

油管缺陷的無損檢測
2017-05-22 11:46:5516

空指針引用缺陷分類假陽性識別方法

針對靜態(tài)測試中空指針引用缺陷假陽性問題,提出一種空指針引用缺陷分類假陽性識別方法。挖掘空指針引用缺陷知識,對空指針引用缺陷知識進行預處理,生成空指針引用缺陷數(shù)據(jù)集;通過基于粗糙集理論屬性重要性
2017-11-25 11:04:228

極紫外光微影(EUV)技術據(jù)稱將在5納米(nm)節(jié)點時出現(xiàn)隨機缺陷

Borodovsky在采訪中表示,另一個可能導致5nm缺陷的因素是現(xiàn)有的EUV光阻劑材料缺乏均勻度。此外,他還表示支持直接電子束寫入,因為EUV使用的復雜相移光罩最終將膨脹至目前浸潤式光罩價格的8倍。
2018-04-11 15:59:3711349

掩模版主要廠商市場份額包括國外企業(yè)和國內(nèi)企業(yè)

根據(jù)SEMI公布數(shù)據(jù):2016年全球半導體掩模版(photomask)銷售額為33.2億美元,占到總晶圓制造材料市場的13%。
2018-08-18 10:47:5513704

Tencor推出兩款全新缺陷檢測產(chǎn)品,可滿足各種IC封裝類型的檢測需求

ICOS F160系統(tǒng)在晶圓切割后對封裝進行檢查,根據(jù)關鍵缺陷的類型進行準確快速的芯片分類,其中包括對側(cè)壁裂縫這一新缺陷類型(影響高端封裝良率)的檢測。這兩款全新檢測系統(tǒng)加入KLA-Tencor缺陷檢測、量測和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)的產(chǎn)品系列,將進一步協(xié)助提高封裝良率以及芯片分類精度。
2018-09-04 09:11:002239

三星半導體已經(jīng)開始使用其7LPP制造工藝生產(chǎn)芯片

透露它是否使用薄膜來保護光掩模免于降級,但僅表明使用EUV可以將芯片所需的掩模數(shù)量減少20%。此外,該公司表示,它已經(jīng)開發(fā)出專有的EUV掩模檢測工具,可以在制造周期的早期進行早期缺陷檢測并消除缺陷(這可能會對產(chǎn)量產(chǎn)生積極影響)。
2018-10-22 16:31:144993

助力高級光刻技術:存儲和運輸EUV掩模面臨的挑戰(zhàn)

隨著半導體行業(yè)持續(xù)突破設計尺寸不斷縮小的極限,極紫外 (EUV) 光刻技術的運用逐漸擴展到大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中。對于 7 納米及更小的高級節(jié)點,EUV 光刻技術是一種能夠簡化圖案形成工藝的支持技術。要在如此精細的尺寸下進行可靠制模,超凈的掩模必不可少。
2019-07-03 15:32:371712

電子行業(yè)缺陷檢測之外觀Logo缺陷檢測說明

可應用在電子行業(yè)內(nèi)的缺陷檢測,例如可穿戴產(chǎn)品表面缺陷檢測、平板電腦Logo缺陷檢測等,同時也可應用在醫(yī)療器械等高亮度、鏡面缺陷檢測。 目前,主流的產(chǎn)品logo都是噴印在產(chǎn)品上的,但由于工藝的原因
2019-10-08 16:00:003022

網(wǎng)友在GitHub上分享了他自己的一個算法模版

作者說了,因為這些題目都是按照類型歸類,且一開始還有詳細的知識點解析。題目也是常見的高頻題,很有代表性,大部分都是可以用模版加一點變形做出來的。
2020-07-01 15:09:251934

光伏組件EL檢測儀設備測試電池片的常見缺陷問題

內(nèi)部缺陷的,如斷柵、隱裂、破片、碎片、虛焊、燒結(jié)網(wǎng)紋、黑芯、黑邊、混檔、低效率片、邊緣過刻、PID、衰減、熱斑衰減等。 光伏組件EL檢測設備解析 EL英文全稱Electro Luminescence,即電致發(fā)光,也可以叫電子發(fā)光檢測。通過利用晶體硅的
2020-07-20 16:52:115153

一文解析什么是表面缺陷檢測系統(tǒng)

表面缺陷檢測系統(tǒng)也叫表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)或者表面質(zhì)量檢測設備。
2020-08-31 10:18:492734

表面缺陷檢測是什么?能夠檢測什么缺陷?

巨大損失。杭州國辰機器人科技有限公司就為大家?guī)砹艘环N高效檢測方法機器視覺表面缺陷檢測。 表面缺陷檢測是什么? 表面檢測系統(tǒng)是一種目前廣泛應用的先進工具,可供操作員完全確保高速生產(chǎn)線上的電纜護套無缺陷。表面檢測系統(tǒng)
2020-09-09 18:24:202329

關于缺陷檢測設備,機器視覺缺陷檢測的內(nèi)容有哪些

機器視覺缺陷檢測設備,它是通過機器視覺檢測系統(tǒng)對產(chǎn)品的表面、外形缺陷、外觀瑕疪進行全面檢測缺陷檢測范圍太寬了,除了能檢測產(chǎn)品的外觀尺寸外,主要還表現(xiàn)在外觀缺陷,產(chǎn)品表面各種瑕疪檢測上。 如今國內(nèi)
2020-11-05 15:52:061608

表面缺陷檢測系統(tǒng)是什么,它的應用優(yōu)勢是什么

如今在生產(chǎn)技術企業(yè)中,為了保障產(chǎn)品的質(zhì)量,在出廠前必須要對產(chǎn)品進行嚴格的質(zhì)量檢測工作,目前,表面缺陷檢測系統(tǒng)被廣大企業(yè)所應用,他的原理主要就是通過工業(yè)相機來進行檢測,主要作用就是一個用來在線數(shù)據(jù)
2020-11-20 12:15:27768

極紫外(EUV)光刻技術將如何影響掩模收入?

體上,三分之二的調(diào)查參與者認為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要在高級節(jié)點處使用更多的掩模。
2020-11-23 14:42:091096

COVID將對光掩模市場產(chǎn)生什么業(yè)務影響?

總體上,三分之二的調(diào)查參與者認為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要在高級節(jié)點處使用更多的掩模
2020-12-17 11:26:261214

GAN用于(無缺陷樣本)產(chǎn)品表面缺陷檢測

,從CNN到Y(jié)OLO,SSD,甚至到語義分割的FCN相關論文,通過一些技術,對框架進行輕量化,對缺陷進行分類檢測。 ? ? ? ?不過,逃不出一個問題:一定要有缺陷樣本可供訓練,而且數(shù)量不能太少!當然,也有一些課題組使用稀疏編碼、字典學習、
2021-01-03 11:53:002910

表面缺陷檢測的原理是什么,它有哪些功能

高品質(zhì)的紙張不允許出現(xiàn)孔洞、夾雜、破損等各類缺陷。紙張表面缺陷檢測系統(tǒng)能在線對生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的表面缺陷進行高速、精確的檢測。系統(tǒng)能根據(jù)表面缺陷的特征,實時識別并對缺陷分類,結(jié)合現(xiàn)場工藝在線報警
2021-04-01 10:16:181147

智能化薄膜表面缺陷檢測儀的檢測原理說明

薄膜瑕疵在線檢測系統(tǒng)用于檢測各類薄膜產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中表面出現(xiàn)的污點、蚊蟲、孔洞、雜質(zhì)等常見缺陷,系統(tǒng)可以在生產(chǎn)過程中及時的發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面出現(xiàn)的疵點信息,實時反映生產(chǎn)線表面的缺陷信息,并進行瑕疵分類處理
2021-04-07 15:14:44689

薄膜表面瑕疵缺陷在線檢測系統(tǒng)的特點是什么

在線檢測系統(tǒng)用于檢測各類薄膜產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中表面出現(xiàn)的污點、蚊蟲、孔洞、雜質(zhì)等常見缺陷,系統(tǒng)可以在生產(chǎn)過程中及時的發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面出現(xiàn)的疵點信息,實時反映生產(chǎn)線表面的缺陷信息,并進行瑕疵分類處理,完全取代人工肉眼
2021-04-21 16:24:30345

蘇州硅時代推出快速制版服務

基板分為樹脂基板和玻璃基板。用以制作掩模版的掩膜基板必須內(nèi)部和兩表面都無缺陷。必須于光刻膠的曝光波長下有高的光學透射率。用來制作掩模版的常見材質(zhì)有石英玻璃,蘇打玻璃等。
2021-05-09 09:38:422491

外觀缺陷檢測解決方案

在加工和制造過程中,外觀缺陷檢測是一個非常重要的環(huán)節(jié)。計算機從小部件到整機,都要經(jīng)歷數(shù)百種不同的外觀缺陷。我們都知道,外觀缺陷檢測需要高的勞動力成本,而工人的檢測效率低于機器。仍然存在著一系列
2021-07-01 11:09:521488

紙張缺陷在線檢測系統(tǒng)的原理及功能

精譜測控紙張缺陷在線檢測系統(tǒng)測量精準可靠——精譜測控紙張表面瑕疵在線檢測是基于視覺智能化檢測系統(tǒng),主要由線陣視覺傳感器,服務器等組成。集高速自動檢測,測量,分辨,定位于一體。主要用于跟蹤,識別并在
2021-07-14 16:18:23315

紙張表面缺陷檢測設備的原理及功能

精譜測控紙張表面缺陷檢測設備快速顯示和識別表面所有缺陷——精譜測控紙張表面瑕疵在線檢測是基于視覺智能化檢測系統(tǒng),主要由線陣視覺傳感器,服務器等組成。集高速自動檢測,測量,分辨,定位于一體。主要
2021-08-02 08:56:30728

使用標準濕法清潔從EUV掩模空白中去除納米顆粒

納米。另一方面,在2008年發(fā)表的報告中,對于32納米高壓線和空間圖案,EUV掩模上吸收體缺陷的臨界缺陷尺寸被描述為大約24納米,這意味著必須去除具有相同尺寸的顆粒。在如此嚴格的缺陷要求下,清潔工
2022-02-17 14:59:271349

基于深度學習的小樣本墻壁缺陷目標檢測分類

近年來,無需人工干預的深度學習已經(jīng)成為缺陷圖像檢測分類的一種主流方法。本文針對室內(nèi)墻壁缺 陷缺檢測中數(shù)據(jù)集大多是小樣本的問題,提出了相關的深度學習研究方法。首先,自制墻壁表面缺陷數(shù)據(jù)集(Wall
2022-04-24 09:44:161

半導體制造將EUV引入DRAM的計劃介紹

EUV 光刻技術被視為先進半導體制造的最大瓶頸,但這些價值超過 1.5 億美元的工具是沒有光掩模的paperweights。一個恰當?shù)谋扔魇?,?b class="flag-6" style="color: red">掩模可以被認為是光刻工具對芯片層進行圖案化所需的物理模板。
2022-08-26 10:49:47942

移相掩模技術不同的分類方法

光刻圖形質(zhì)量的主要判據(jù)是圖形成像的對比度,移相掩模方法可使對比度得到改善,從而使得其分辨率比傳統(tǒng)方法改善 40%~100%。移相掩模按不同的分類方法可分為多種類型,其基本原理均為相鄰透光圖形透過的光振幅相位相反而產(chǎn)生相消干涉,振幅零點和(或)頻譜分布壓窄,從而改善對比度、分辦率和成像質(zhì)量。
2022-10-17 14:54:091490

什么是極紫外光刻 極紫外光刻優(yōu)勢介紹

掩模版缺陷的光學檢測極為困難。通常,光學檢測可以獲得表面缺陷和相缺陷引起的所有轉(zhuǎn)印缺陷,但是由于 EUV 的多層掩模結(jié)構,使得這些缺陷被埋在多層薄膜的下面。
2022-10-24 10:48:045456

機器視覺檢測中的外觀缺陷檢測

產(chǎn)品的外觀缺陷直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量問題,而在檢測時,由于產(chǎn)品缺陷種類繁多且干擾因素眾多,導致產(chǎn)品的外觀缺陷檢測一直是機器視覺檢測中的難點。
2022-10-31 15:08:282872

使用YOLOX檢測PCB的缺陷

我們將使用mmdetection? 檢測PCB圖像中的缺陷。OpenMMLab? 是一個深度學習庫,擁有計算機視覺領域大多數(shù)最先進實現(xiàn)的預訓練模型。它實現(xiàn)了幾乎所有眾所周知的視覺問題,如分類、目標檢測與分割、姿態(tài)估計、圖像生成、目標跟蹤等等。
2022-12-07 10:01:081139

***的簡易工作原理圖 掩模版都有哪些種類?

光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實現(xiàn)對光線的遮擋或透過功能,是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。
2023-02-13 09:27:292086

工業(yè)缺陷檢測場景簡介

缺陷”一般可以理解為與正常樣品相比的缺失、缺陷或面積。表面缺陷檢測是指檢測樣品表面的劃痕、缺陷、異物遮擋、顏色污染、孔洞等缺陷,從而獲得被測樣品表面缺陷的類別、輪廓、位置、大小等一系列相關信息。
2023-02-17 10:21:061334

EUV 光刻制造全流程設計解析

其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統(tǒng),再到光掩模,再到對準系統(tǒng),再到晶圓載物臺,再到光刻膠化學成分,再到鍍膜機和顯影劑,再到計量學,再到單個晶圓。
2023-03-07 10:41:581134

淺談EUV光刻中的光刻膠和掩模等材料挑戰(zhàn)

新的High NA EUV 光刻膠不能在封閉的研究環(huán)境中開發(fā),必須通過精心設計的底層、新型硬掩模和高選擇性蝕刻工藝進行優(yōu)化以獲得最佳性能。為了迎接這一挑戰(zhàn),imec 最近開發(fā)了一個新的工具箱來匹配光刻膠和底層的屬性。
2023-04-13 11:52:121165

基于機器視覺的汽車漆面缺陷檢測技術

統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)。系統(tǒng)對漆面缺陷檢測的過程和結(jié)果全程保存在本地電腦數(shù)據(jù)庫上,同時可以與車間管理系統(tǒng)對接,實現(xiàn)檢測結(jié)果的分類查詢、匯總分析功能。
2023-06-19 10:12:481929

行業(yè)案例 | 缺陷自動檢測分類(ADC)解決方案

由人工判別缺陷種類和缺陷位置,雖然已融入自動化生產(chǎn)步驟,但仍然有檢測過程耗時耗力、成本高的不便之處。明治傳感器推出的自動缺陷檢測分類(ADC,AutomaticD
2022-08-04 11:55:111135

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測
2023-01-12 15:46:34559

基于GAN的零缺陷樣本產(chǎn)品表面缺陷檢測

缺陷檢測是工業(yè)生產(chǎn)過程中的關鍵環(huán)節(jié),其檢測結(jié)果的好壞直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而在現(xiàn)實場景中,但產(chǎn)品瑕疵率非常低,甚至是沒有,缺陷樣本的不充足使得需要深度學習缺陷檢測模型準確率不高。如何在缺陷樣本
2023-06-26 09:49:01549

EUV光刻市場高速增長,復合年增長率21.8%

EUV掩膜,也稱為EUV掩模EUV光刻掩膜,對于極紫外光刻(EUVL)這種先進光刻技術至關重要。EUV光刻是一種先進技術,用于制造具有更小特征尺寸和增強性能的下一代半導體器件。
2023-08-07 15:55:02399

EUV薄膜容錯成本高 成芯片良率的關鍵

近20年來,EUV光源、EUV掩模EUV光刻膠一直是EUV光刻的三大技術挑戰(zhàn)。
2023-09-14 09:45:12563

基于改進FCOS的表面缺陷檢測算法

首先使用深度卷積神經(jīng)網(wǎng)絡提取輸入圖像特征圖,然后使用分類網(wǎng)絡、回歸網(wǎng)絡、中心度網(wǎng)絡對特征圖上的所有特征點逐個進行檢測,分類網(wǎng)絡輸出原圖上以此特征點為中心的區(qū)域所含缺陷類別,回歸網(wǎng)絡輸出原圖上以此特征
2023-09-28 09:41:27187

關于高數(shù)值孔徑EUV和曲線光掩模等燈具的討論

半導體芯科技編譯 來源:Silicon Semiconductor eBeam Initiative已完成第12屆年度eBeam Initiative杰出人物調(diào)查。 來自半導體生態(tài)系統(tǒng)(包括光掩模
2023-10-17 15:00:01224

高數(shù)值孔徑EUV的可能拼接解決方案

采用曲線掩模的另一個挑戰(zhàn)是需要將兩個掩模縫合在一起以在晶圓上形成完整的圖像。對于高數(shù)值孔徑 EUV,半場掩模的拼接誤差是一個主要問題。
2023-10-23 12:21:41342

光刻可制造性檢查如何檢測掩模版質(zhì)量

隨著工藝節(jié)點不斷變小,掩模版制造難度日益增加,耗費的資金成本從數(shù)十萬到上億,呈指數(shù)級增長,同時生產(chǎn)掩模版的時間成本也大幅增加。如果不能在制造掩模版前就保證其設計有足夠高的品質(zhì),重新優(yōu)化設計并再次制造一批掩模版將增加巨大的資金成本和時間成本。
2023-11-02 14:25:59284

一文帶你了解蔡司工業(yè)CT中的自動缺陷檢測

蔡司自動缺陷檢測 適用于您的應用領域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學習軟件將人工智能應用于3D CT和2D X射線系統(tǒng),樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規(guī)則)進行檢測、定位與分類,同時通過讀取
2023-11-14 11:27:27212

分析蔡司工業(yè)CT中的自動缺陷檢測

蔡司 自動缺陷檢測:適用于您的應用領域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學習軟件將人工智能應用于3D CT和2D X射線系統(tǒng),樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規(guī)則)進行檢測、定位與分類,同時通過
2023-11-15 11:14:24221

龍圖光罩科創(chuàng)板IPO獲批,募投項目技術和經(jīng)濟可行性是關鍵?

龍圖光罩擁有130nm及以上節(jié)點的半導體掩模版制備頂尖技術,覆蓋 CAM、光刻、檢測全流程。在功率半導體掩模版領域,其工藝節(jié)點已能充分滿足全球主流制程的需求。
2023-12-18 09:41:15273

機器視覺之玻璃產(chǎn)品缺陷檢測

數(shù)字化處理后的圖像傳輸至計算機中,依靠視覺檢測軟件系統(tǒng)完成缺陷圖像的濾波、邊緣檢測、特征提取以及分類的功能,最終達到玻璃智能檢測的目的。
2023-12-22 16:09:09188

龍圖光罩:致力于高端半導體掩模版國產(chǎn)化的先鋒

2020年-2023年上半年,應用于功率半導體領域的掩模版是龍圖光罩最主要的收入來源,且營收和營收占比呈現(xiàn)逐年遞增的趨勢。龍圖光罩指出,在功率半導體掩模版領域,公司的工藝節(jié)點已覆蓋全球功率半導體主流制程的需求。
2024-01-12 10:18:06325

良品學習在高良率制造業(yè)中缺陷檢測的應用

缺陷形態(tài)多變,還可能出現(xiàn)各種無法預測的異常情況,傳統(tǒng)的缺陷模擬方法往往難以應對,這無疑增加了檢測的成本和難度。良品學習阿丘科技的良品學習模式,擁有非監(jiān)督分類與非監(jiān)
2024-01-26 08:25:10157

視覺檢測設備的分類

、質(zhì)量控制、醫(yī)療影像、安防監(jiān)控、無人駕駛等。視覺檢測設備的主要功能包括圖像采集、圖像處理、目標檢測、特征提取、分類識別、缺陷檢測、測量計量等,通過這些功能實現(xiàn)對目標物體的自動化檢測和分析。常見的視覺檢測設備包
2024-02-21 09:41:11166

已全部加載完成