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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>稀釋SC1過程中使用兆聲波來增強顆粒去除效率

稀釋SC1過程中使用兆聲波來增強顆粒去除效率

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2022-02-17 14:59:271349

濕法清洗過程中硅片表面顆粒去除

研究了在半導(dǎo)體制造過程中使用的酸和堿溶液從硅片表面去除粒子。 結(jié)果表明,堿性溶液的顆粒去除效率優(yōu)于酸性溶液。 在堿性溶液中,顆粒去除的機理已被證實如下:溶液腐蝕晶圓表面以剝離顆粒,然后顆粒被電排斥到晶圓表面。 實驗結(jié)果表明,需要0.25 nm /min以上的刻蝕速率才能使吸附在晶圓表面的顆粒脫落。
2022-02-17 16:24:272167

SC-1顆粒去除和piranha后漂洗的機理研究

SC-l和piranha(H2SO4/H2O2)清潔劑已經(jīng)使用多年來去除顆粒和有機污染物。盡管SC-1清潔劑(通常與施加的兆頻超聲波功率一起使用)被認為對顆粒去除非常有效,但去除機制仍不清楚。對于
2022-02-23 13:26:322009

SC1/SC2蝕刻后Si表面的分析

本文首次提出了由標準SC1/SC2腐蝕周期引起的Si (100)表面改性的證據(jù)。SC1/SC2蝕刻(也稱為RCA清洗)通過NH3:H2O2:H2O混合物使硅片氧化,在稀釋的HF中去除氧化物,通過
2022-02-23 14:15:227104

高效晶圓背面清潔工藝顯得尤為重要

聲波增強了較小和較大顆粒尺寸的顆粒去除。99% 的 PRE 值是通過使用稀釋的 HF/SC1 化學(xué)物質(zhì)和通過使用 SC1 增加兆聲波功率而獲得的。如果需要,單晶片清潔系統(tǒng)允許在正面分配 DIW,以在將化學(xué)物質(zhì)施加到背面時最大限度地減少晶片器件側(cè)的化學(xué)接觸。蝕刻速率測試證實沒有化
2022-03-03 14:17:11664

超細金屬顆粒在硅片表面的行為研究

摘要 隨著 ULSI 設(shè)備越來越小型化,對產(chǎn)量產(chǎn)生不利影響的顆粒直徑一直在縮小。最近,直徑為 0.1 或更小的超細顆粒變得很重要。預(yù)計這種類型的超細顆粒難以去除。本研究建立了一種評估超細顆粒去除效率
2022-03-03 14:17:36376

用兆頻超聲波能量從有機溶劑中的硅片上去除顆粒的實驗

本文介紹了用兆頻超聲波能量從有機溶劑中的硅片上去除顆粒的實驗。納米粒子首先通過可控污染工藝沉積在硅晶片上。對于新沉積和老化的顆粒,研究了作為兆頻超聲波功率的函數(shù)的顆粒去除效率。通過改變處理條件和漂洗
2022-03-07 15:26:56541

水痕去除的有效方法有哪些

應(yīng)用兆頻超聲波能量去除顆粒已被證明是一種非常有效的非接觸式清潔方法。對晶片表面的清潔同樣重要的是干燥過程。一種非常常見的方法是高速旋轉(zhuǎn)干燥,但從減少顆粒和防止水痕的角度來看,這都是無效的。一種高性能的替代品是基于旋轉(zhuǎn)力和馬蘭戈尼力的“旋轉(zhuǎn)戈尼”干燥器。這兩種技術(shù)的結(jié)合為清洗和干燥晶片提供了有效的平臺。
2022-03-15 11:27:481021

兆聲清洗晶片過程中去除力的分析

在半導(dǎo)體器件的制造過程中,兆聲波已經(jīng)被廣泛用于從硅晶片上去除污染物顆粒。在這個過程中,平面硅片被浸入水基溶液中,并受到頻率在600千赫-1兆赫范圍內(nèi)的聲能束的作用。聲波通常沿著平行于晶片/流體界面
2022-03-15 11:28:22460

半導(dǎo)體制造過程中刷洗力的研究

為了確保高器件產(chǎn)量,在半導(dǎo)體制造過程中,必須在幾個點監(jiān)控和控制晶片表面污染和缺陷。刷式洗滌器是用于實現(xiàn)這種控制的工具之一,尤其是在化學(xué)機械平面化工藝之后。盡管自20世紀90年代初以來,刷子刷洗就已在生產(chǎn)中使用,但刷洗過程中顆粒去除機制仍處于激烈的討論之中。這項研究主要集中在分析擦洗過程中作用在顆粒上的力。
2022-03-16 11:52:33432

詳解SC-I清洗的化學(xué)模型

效的顆粒去除劑。這種混合物也被稱為氫氧化胺、過氧化氫混合物(APM)。SC-I溶液通過蝕刻顆粒下面的晶片來促進顆粒去除;從而松動顆粒,使機械力可以很容易地從晶圓表面去除顆粒
2022-03-25 17:01:252376

過氧化氫在SC1清潔方案中的作用說明

效的顆粒去除劑。這種混合物也被稱為氫氧化胺、過氧化氫混合物(APM)。SC-I溶液通過蝕刻顆粒下面的晶片來促進顆粒去除;從而松動顆粒,使機械力可以很容易地從晶圓表面去除顆粒。 本文將討論一個詳細的SC-I清洗的化學(xué)模型。了解導(dǎo)致氧化物同時生長和蝕刻的
2022-03-25 17:02:502376

濕臺清洗中顆粒去除的新概念

面損傷有負面影響。近年來,它已被修改為加入更稀的溶液,以減少由氫氧化銨引起的表面微觀粗糙度。在本文中,提出了一種新思路,即使用去離子水快速傾倒沖洗 (QDR) 模式從對話設(shè)置轉(zhuǎn)變?yōu)楦倪M模式。使用 DIW 進行修改的修改配方可以在加工過程中完全去除顆粒。
2022-03-30 14:29:42311

兩種不同類型的兆頻超聲波清洗方法

兆頻超聲波清洗已被用于去除集成電路器件的硅晶片制造中的缺陷,例如顆粒和聚合物/抗蝕劑殘留物。然而,隨著器件技術(shù)節(jié)點的縮小,兆頻超聲波清洗正面臨著保持高清洗效率的挑戰(zhàn),這種高清洗效率是由較小顆粒的穩(wěn)定
2022-03-30 14:33:50995

基于單分散液滴撞擊的顆粒清潔技術(shù)

處理納米級顆粒污染仍然是半導(dǎo)體器件制造過程中的主要挑戰(zhàn)之一。對于越來越多的關(guān)鍵處理步驟而言尤其如此,在這些步驟中,需要去除顆粒物質(zhì)的殘留物而不會對敏感器件圖案造成機械損壞,同時實現(xiàn)盡可能低的基板損失
2022-03-31 14:59:40303

半導(dǎo)體制造過程中的硅晶片清洗工藝

在許多半導(dǎo)體器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半導(dǎo)體材料。 在半導(dǎo)體器件制造中,各種加工步驟可分為四大類,即沉積、去除、圖形化和電性能的修改。 在每一步中,晶片清洗都是開發(fā)半導(dǎo)體電子器件的首要和基本步驟。 清洗過程是在不改變或損壞晶圓表面或基片的情況下去除化學(xué)物質(zhì)和顆粒雜質(zhì)。
2022-04-01 14:25:332948

如何成功地清除來自晶片表面的顆粒污染

為了成功地清除來自晶片表面的顆粒污染,有必要了解顆粒與接觸的基底之間的附著力和變形,變形亞微米顆粒的粘附和去除機理在以往的許多研究中尚未得到闡明。亞微米聚苯乙烯乳膠顆粒(0.1-0.5mm)沉積
2022-04-06 16:53:501046

濕法和顆粒去除工藝的簡要概述

的內(nèi)在能力和局限性。已經(jīng)確定了三種顆粒去除過程——能夠去除所有顆粒尺寸和類型的通用過程,甚至來自圖案晶片,具有相同理論能力但實際上受到粒子可及性的限制,最后是無法去除所有顆粒尺寸的清洗。 通過計算施加給細顆粒
2022-04-08 17:22:531231

濕法和顆粒去除工藝詳解

能力和局限性。已經(jīng)確定了三種顆粒去除過程——能夠去除所有顆粒尺寸和類型的通用過程,甚至來自圖案晶片,具有相同理論能力但實際上受到粒子可及性的限制,最后是無法去除所有顆粒尺寸的清洗。
2022-04-11 16:48:42520

一種半導(dǎo)體制造用光刻膠去除方法

/O2氣體氣氛中進行干洗,在CF4等離子體條件下進行干燥,在O2等離子體的條件下進行干燥劑后, 通過執(zhí)行濕式清潔工藝去除上述殘留光刻膠,可以徹底去除半導(dǎo)體裝置制造過程中使用的光刻膠,增進半導(dǎo)體裝置的可靠性,防止設(shè)備污染。
2022-04-13 13:56:42872

兆聲功率、溫度和時間的相互影響

本文研究了兆聲功率、溫度和時間的相互影響,在兆聲功率和中高溫下進行的稀釋化學(xué)反應(yīng)被證明對小顆粒再利用是非常有效的。數(shù)據(jù)顯示,當在中等溫度(例如45℃)下使用高純度化學(xué)品時,可以延長壽命,過渡金屬表面濃度和表面粗糙度已經(jīng)在稀釋SC1處理后進行了測量,并與傳統(tǒng)SC1處理后的金屬污進行了比較。
2022-04-19 11:24:52409

半導(dǎo)體器件制造過程中的清洗技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造過程中,由于需要去除被稱為硅晶片的硅襯底上納米級的異物(顆粒),1/3的制造過程被稱為清洗過程。在半導(dǎo)體器件中,通常進行RCA清潔,其中半導(dǎo)體器件以一批25個環(huán)(盒)為單位,依次
2022-04-20 16:10:293200

采用臨界粒子雷諾數(shù)方法去除晶圓表面的粘附顆粒

化學(xué)機械平面化后的葉片清洗,特別是刷子擦洗,是半導(dǎo)體器件制造的一個關(guān)鍵步驟,尚未得到充分了解。臨界粒子雷諾數(shù)方法用于評估在刷擦洗過程中去除晶圓表面的粘附顆粒,或者是否必須發(fā)生刷-粒子接觸。考慮了直徑
2022-05-07 15:48:381575

STM32破解的過程中常見的幾個問題

。 1 通常我們在破解STM32過程中,如果原開發(fā)者沒有嵌入軟加密,那我們只需對芯片進行開片,去除加密鎖,然后通過編程器直接讀取,讀取的BIN文件或HEX文件,完全可以正常使用。 2 在去除加密鎖后,提取的程序代碼無法工作,存在軟加密,很多軟加密是通過燒錄器選
2022-05-24 16:29:273933

柵極氧化物形成前的清洗

氧化物的性質(zhì)有害,這反過來影響整個器件的性質(zhì)。 種程序用于清潔硅晶片。一個廣泛使用的程序是標準的RCA清潔。RCA清洗包括暴露在三種不同的溶液中——SC1、氫氟酸和SC2。SC1溶液包含氫氧化銨、過氧化氫和水,通常能有效去除
2022-06-21 17:07:391229

濕法清洗中去除硅片表面的顆粒

用半導(dǎo)體制造中的清洗過程中使用的酸和堿溶液研究了硅片表面的顆粒去除
2022-07-05 17:20:171683

聲波清洗機,它是如何工作的?

關(guān)于過濾器的超聲波清洗的小常識 工業(yè)公司需要確保他們的設(shè)備始終以最佳水平運行,以免影響生產(chǎn)時間或質(zhì)量。這意味著他們需要一種方法在流體流進入其他機器之前從流體流中去除所有不需要的顆粒,以保持最佳性能
2022-10-21 17:50:53609

高壓功率放大器在超聲駐波場的水下顆粒操控中的應(yīng)用

的聲場、聲流場及顆粒操控動態(tài)過程,最后通過水下顆粒操控實驗對仿真結(jié)果進行驗證。研究發(fā)現(xiàn),顆粒在水下操控過程受到聲輻射力與聲流曳力的共同作用,由聲波干涉作用形成的局部駐波場主要依靠聲輻射力將顆粒團聚
2023-01-05 15:30:28468

RCA清潔變量對顆粒去除的影響

集成設(shè)備制造的縮小圖案要求濕化學(xué)加工的表面清潔度和表面光滑度,特別是對于常見的清潔技術(shù)RCA清潔(SC-1和SC-2)。本文討論了表面制備參數(shù)的特性和影響。
2023-05-06 14:25:04407

藍寶石在化學(xué)機械拋光過程中的材料去除機理

在化學(xué)腐蝕點處的濃度越高,腐蝕速率越快。在拋光過程中拋光液持續(xù)流動,我們假設(shè)在腐蝕點處的濃度可以保持初始時的濃度,腐蝕率以最快的速度發(fā)生,則拋光液不同的PH值對應(yīng)一個腐蝕率,由此可見,去除速率與PH值有關(guān),PH越高,速率越快。
2023-06-02 15:24:06347

晶片濕法刻蝕方法

硅的堿性刻蝕液:氫氧化鉀、氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,晶片加工中,會用到強堿作表面腐蝕或減薄,器件生產(chǎn)中,則傾向于弱堿,如SC1清洗晶片或多晶硅表面顆粒,一部分機理是SC1中的NH4OH
2023-06-05 15:10:011597

激光熔覆的稀釋率和搭接率介紹

稀釋率的概念稀釋率是指在激光熔覆中,由于熔化基材的混入而引起的熔覆合金成分的變化程度,用基材合金占總?cè)鄹矊拥陌俜致时硎荆ǚ枽牵?。H:熔覆層高度,h:基材熔深,W:熔覆層寬度,η=A2/(A1+A2
2023-04-20 09:38:241068

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