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      標簽　>　PECVD

      PECVD

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      7月12日，拓荊科技股份有限公司(簡稱“拓荊科技”)申請科創(chuàng)板上市已獲受理。根據(jù)招股書，拓荊科技擬募集資金10.00億元，計劃投資于高端半導體設備擴產(chǎn)項...

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      2020-01-27 標簽：硅片PECVD 5622 0

      首臺國產(chǎn)12英寸PECVD設備誕生

      沈陽拓荊科技有限公司承擔的國家重大科技專項項目——90～65納米等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化研制日前獲得成功

      2011-11-08 標簽：ICPECVD 2147 0

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