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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>制造新聞>450毫米晶圓2018年量產(chǎn) 極紫外光刻緊隨其后

450毫米晶圓2018年量產(chǎn) 極紫外光刻緊隨其后

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2021-07-28 09:17:55

光刻機(jī)工藝的原理及設(shè)備

,之后經(jīng)過物鏡投射到曝光臺(tái),這里放的就是8寸或者12英寸,上面涂抹了光刻膠,具有光敏感性,紫外光就會(huì)在上蝕刻出電路。    而激光器負(fù)責(zé)光源產(chǎn)生,而光源對(duì)制程工藝是決定性影響的,隨著半導(dǎo)體工業(yè)節(jié)點(diǎn)
2020-07-07 14:22:55

光刻機(jī)是干什么用的

  芯片制造流程其實(shí)是多道工序?qū)⒏鞣N特性的材料打磨成形,經(jīng)循環(huán)往復(fù)百次后,在上“刻”出各種電子特性的區(qū)域,最后形成數(shù)十億個(gè)晶體管并被組合成電子元件。那光刻,整個(gè)流程中的一個(gè)重要步驟,其實(shí)并沒有
2020-09-02 17:38:07

會(huì)漲價(jià)嗎

陸續(xù)復(fù)工并維持穩(wěn)定量產(chǎn),但對(duì)硅生產(chǎn)鏈的影響有限。只不過,4月之后新冠肺炎疫情造成各國管控邊境及封城,半導(dǎo)體材料由下單到出貨的物流時(shí)間明顯拉長(zhǎng)2~3倍。  庫存回補(bǔ)力道續(xù)強(qiáng)  包括代工廠、IDM
2020-06-30 09:56:29

制造工藝流程完整版

`制造總的工藝流程芯片的制造過程可概分為處理工序(Wafer Fabrication)、針測(cè)工序(Wafer Probe)、構(gòu)裝工序(Packaging)、測(cè)試工序(Initial
2011-12-01 15:43:10

制造工藝的流程是什么樣的?

簡(jiǎn)單的說是指擁有集成電路的硅晶片,因?yàn)槠湫螤钍?b class="flag-6" style="color: red">圓的,故稱為.在電子數(shù)碼領(lǐng)域的運(yùn)用是非常廣泛的.內(nèi)存條、SSD,CPU、顯卡、手機(jī)內(nèi)存、手機(jī)指紋芯片等等,可以說幾乎對(duì)于所有的電子數(shù)碼產(chǎn)品
2019-09-17 09:05:06

級(jí)封裝的方法是什么?

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2020-03-06 09:02:23

表面各部分的名稱

Plane):圖中的剖面標(biāo)明了器件下面的晶格構(gòu)造。此圖中顯示的器件邊緣與晶格構(gòu)造的方向是確定的。(6)切面/凹槽(Wafer flats/notche):圖中的有主切面和副切面,表示這是一個(gè) P 型 向的(參見第3章的切面代碼)。300毫米都是用凹槽作為晶格導(dǎo)向的標(biāo)識(shí)。
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紫外光線的原理

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紫外光耐氣候試驗(yàn)箱作注意事項(xiàng)

。試驗(yàn)可以幫助你選擇新的材料,改進(jìn)現(xiàn)有材料以及評(píng)價(jià)配方的變化是如何影響產(chǎn)品耐久性。紫外光循環(huán)期,光化學(xué)反應(yīng)通常對(duì)溫度并不敏感。但其后發(fā)生的任何反應(yīng)的速率均取決于溫度的高低。這些反應(yīng)的速率隨溫度的升高而
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PIC32毫米微控制器弱下拉電阻和弱上拉電阻的范圍是多少?

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[轉(zhuǎn)]CPU制造全過程,一堆沙子的藝術(shù)之旅

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2017-05-04 21:25:46

matlab經(jīng)典100例3

緊隨其后
2012-08-16 23:34:25

【轉(zhuǎn)帖】一文讀懂晶體生長(zhǎng)和制備

450mm直徑的晶體和450mm的制備存在的挑戰(zhàn)性。更高密度和更大尺寸芯片的發(fā)展需要更大直徑的供應(yīng)。在20世紀(jì)60代開始使用的1英寸直徑的。在21世紀(jì)前期業(yè)界轉(zhuǎn)向300mm(12英寸)直徑的
2018-07-04 16:46:41

一文帶你了解芯片制造的6個(gè)關(guān)鍵步驟

可以做到多小。在這個(gè)階段,會(huì)被放入光刻機(jī)中(沒錯(cuò),就是ASML生產(chǎn)的產(chǎn)品),被暴露在深紫外光(DUV)下。很多時(shí)候他們的精細(xì)程度比沙粒還要小幾千倍。光線會(huì)通過“掩模版”投射到上,光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)
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為什么VNA不需要3.5毫米校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的性別

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什么?如何制造單晶的

納米到底有多細(xì)微?什么?如何制造單晶的?
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什么是

,由于硅棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過程稱為“長(zhǎng)”。硅棒再經(jīng)過切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝后,即成為積體電路工廠的基本原料——硅片,這就是“”。`
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什么是半導(dǎo)體

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2021-07-23 08:11:27

從砂子到芯片,一塊芯片的旅程 (上篇)

未必能一次投影好。因此,加工過程中要將電路設(shè)計(jì)分成多個(gè)光罩,重復(fù)上面的流程,直至蝕刻完成為止。 一片的產(chǎn)值可大可小 我們來計(jì)算一下,頂級(jí)的直徑按200毫米、一片芯片面積按100平方毫米計(jì)算,那么
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準(zhǔn)分子真空紫外輻射在材料加工中的研究與應(yīng)用

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2010-05-06 08:56:18

利用紫外光LED自制廉價(jià)定時(shí)曝光箱

`有時(shí)自己做一些PCB,閑來無事,利用紫外光LED和一個(gè)網(wǎng)購定時(shí)模塊制作了一個(gè)曝光箱,還沒進(jìn)行PCB實(shí)操,放一個(gè)變色鏡在上面,十幾秒就變色,上圖`
2018-01-30 14:47:54

半導(dǎo)體制造企業(yè)未來分析

這些廠商揮起了“金元大棒”。 —2019二季度,臺(tái)積電就宣布其利用EUV技術(shù)的7nm增強(qiáng)版(7nm+)開始量產(chǎn),這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV紫外光刻技術(shù)。根據(jù)臺(tái)積電的發(fā)展進(jìn)程來看,其
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單片機(jī)制造工藝及設(shè)備詳解

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史上最全專業(yè)術(shù)語

than 0.25 mm in length.裂紋 - 長(zhǎng)度大于0.25毫米片表面微痕。Crater - Visible under diffused illumination, a
2011-12-01 14:20:47

回收拋光片、光刻片、片碎片、小方片、牙簽料、藍(lán)膜片

TEL:***回收拋光片、光刻片、片碎片、小方片、牙簽料、藍(lán)膜片回收片硅片回收/廢硅片回收/單晶硅片回收/多晶硅片回收/回收太陽能電池片/半導(dǎo)休硅片回收
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基于AMBE-2000的紫外光語音系統(tǒng)設(shè)計(jì)

本文介紹了一種基于AMBE-2000的紫外光語音系統(tǒng)設(shè)計(jì)。實(shí)驗(yàn)證明,紫外光語音通信系統(tǒng)具有低竊聽率、低位辨率、全方位、高抗干擾能力、音質(zhì)優(yōu)、功耗低等特點(diǎn)。
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ASML表示2018年將出貨20套光刻機(jī),上半年業(yè)績(jī)表現(xiàn)亮眼

荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠ASML日前表示,該公司2018年將出貨20套極紫外光(EUV)光刻機(jī),該數(shù)量預(yù)期在2019年將增加到30套以上。
2018-07-27 18:34:453542

臺(tái)積電宣布了有關(guān)極紫外光刻(EUV)技術(shù)的兩項(xiàng)重磅突破

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全球首臺(tái)用紫外光源實(shí)現(xiàn)的22納米分辨率的光刻機(jī)

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ASML正在著手開發(fā)新一代極紫外(EUV)光刻機(jī)

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2018-12-09 10:35:077142

2018年IC年度關(guān)鍵詞,你都知道幾個(gè)?

量產(chǎn)業(yè)發(fā)展成熟度的另一維度是論文產(chǎn)出量。1998年至2018年間,全球人工智能領(lǐng)域論文產(chǎn)出量最多是美國,達(dá)14.91萬篇,中國以14.18萬篇緊隨其后,英國、德國、印度分列三至五位。
2019-01-15 17:35:544655

探析紫外光通信技術(shù)原理及應(yīng)用

紫外光通信系統(tǒng)是一種新型的通信手段,與常規(guī)的通信系統(tǒng)相比,有很多優(yōu)勢(shì)。由于紫外線主要以散射方式傳播,并且傳播路徑有限,采用紫外光通信系統(tǒng)具有一定的繞過障礙物的能力,非常適用于近距離抗干擾的通信環(huán)境。
2019-02-21 15:40:375540

長(zhǎng)江后浪推前浪,比《流浪地球》更硬核的光刻新紀(jì)元神作“EUV”已誕生!

紫外光刻時(shí)代的大幕已拉開……
2019-02-27 13:41:11611

華碩電競(jìng)主板TUFB450M-Plus高清圖賞

伴隨著AMD第二代銳龍?zhí)幚砥鞯纳鲜校?00系列主板緊隨其后開始全面上線,華碩TUF電競(jìng)特工系列也推出新款,命名為TUF B450M-PLUS GAMING主板。
2019-04-23 08:42:2711199

首次加入EVU極紫外光刻 臺(tái)積電二代7nm+工藝開始量產(chǎn)

臺(tái)積電官方宣布,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù),意義非凡,也領(lǐng)先Intel、三星一大步。
2019-05-28 11:20:413233

臺(tái)積電 | 首次加入EUV極紫外光刻技術(shù) 7nm+工藝芯片已量產(chǎn)

臺(tái)積電官方宣布,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù),意義非凡。
2019-05-28 16:18:243401

芯片AI性能跑分榜單:華為海思麒麟810以23944獲探花之名緊隨其后

AI-Benchmark跑分網(wǎng)站最近公布了最新的芯片AI性能跑分榜單,紫光展銳的虎賁T710以28097分的優(yōu)異成績(jī)摘得狀元之席,高通驍龍855 plus以24553分奪榜眼之位,緊隨其后的是華為海思麒麟810以23944獲探花之名。
2019-08-01 11:50:0611007

全球AI專利排名:美國領(lǐng)先,中國緊隨其后,歐盟排名第三

8月19日消息,美國當(dāng)?shù)貢r(shí)間8月18日,美國數(shù)據(jù)創(chuàng)新中心(Center for Data Innovation)發(fā)布針對(duì)中國、美國和歐洲三大地區(qū)的人工智能發(fā)展報(bào)告,報(bào)告顯示,目前美國在AI發(fā)展中仍然保持領(lǐng)先優(yōu)勢(shì),中國緊隨其后,歐盟排名第三。
2019-08-20 09:03:214494

三星宣布全球首座專門為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠開始量產(chǎn)

三星宣布,位于韓國京畿道華城市的V1工廠已經(jīng)開始量產(chǎn)7nm 7LPP、6nm 6LPP工藝,這也是全球第一座專門為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠。
2020-02-21 16:19:052214

亞馬遜穩(wěn)居2019智能音箱出貨量第一 谷歌則緊隨其后

2月14日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Strategy Analytics發(fā)布了一份涵蓋2019年智能音箱行業(yè)的新報(bào)告,報(bào)告顯示,2019年,全球智能音箱出貨量達(dá)到1.469億部,同比增長(zhǎng)70%,創(chuàng)下新紀(jì)錄,而亞馬遜仍然遙遙領(lǐng)先,谷歌緊隨其后。
2020-03-03 11:09:07810

ASML去年交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī),帶來約31.43億美元的營(yíng)收

據(jù)國外媒體報(bào)道,在芯片的制造過程中,光刻機(jī)是必不可少的設(shè)備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機(jī)也就至關(guān)重要。
2020-03-07 10:50:591943

ASML去年交付26臺(tái)極紫外光刻機(jī),其中兩款可用于生產(chǎn)7nm和5nm芯片

據(jù)國外媒體報(bào)道,在芯片的制造過程中,光刻機(jī)是必不可少的設(shè)備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機(jī)也就至關(guān)重要。
2020-03-07 14:39:545045

IDC發(fā)布全球2019年可穿戴市場(chǎng)報(bào)告 蘋果依然穩(wěn)居第一小米緊隨其后

3月11日消息,IDC最新發(fā)布了全球2019年可穿戴市場(chǎng)報(bào)告。報(bào)告顯示,2019年,蘋果穩(wěn)居全球可穿戴市場(chǎng)第一,小米緊隨其后,成為全球第二大、國內(nèi)第一大智能可穿戴品牌。三星、華為、Fitbit分列三四五位。
2020-03-12 08:59:50576

ASML去年交付26臺(tái)極紫外光刻機(jī) 其中約一半面向大客戶臺(tái)積電

據(jù)國外媒體報(bào)道,半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)(EUV),調(diào)查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺(tái)積電。ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26
2020-04-09 11:20:062310

兩家極紫外光刻機(jī)公司3月份營(yíng)收同比環(huán)比均上漲

對(duì)于芯片制造廠商來說,光刻機(jī)的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工藝已經(jīng)提升至5nm和3nm之后,極紫外光刻機(jī)就顯得更為重要。而ASML作為全球唯一有能力制造極紫外光刻機(jī)的廠商,他的一舉一動(dòng),牽動(dòng)著所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)上下游廠商的心。
2020-04-15 15:44:364093

ASML今年一季度營(yíng)收僅上一季度六成 極紫外光刻機(jī)僅兩臺(tái)能確認(rèn)收入

4月17日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,在智能手機(jī)等高端設(shè)備芯片的工藝提升到5nm之后,能生產(chǎn)5nm芯片的極紫外光刻機(jī)就顯得異常重要,而作為目前全球唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)的廠商,阿斯麥的供應(yīng)量直接決定了各大芯片制造商5nm芯片的產(chǎn)能。
2020-04-18 09:09:433544

AMSL正在研發(fā)第三款極紫外光刻機(jī),計(jì)劃明年年中出貨

據(jù)國外媒體報(bào)道,已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機(jī)的阿斯麥,正在研發(fā)第三款,計(jì)劃在明年年中開始出貨。
2020-10-15 16:14:111565

ASML答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購買的極紫外光光刻設(shè)備(EUV)?

日前三星電子副董事長(zhǎng)李在镕前往荷蘭拜訪光刻機(jī)大廠ASML,其目的就是希望ASML 的高層能答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購買的極紫外光光刻設(shè)備(EUV)。
2020-10-24 09:39:061509

臺(tái)積電已向阿斯麥預(yù)訂2021年所需極紫外光刻機(jī)

在5nm、6nm工藝大規(guī)模投產(chǎn)、第二代5nm工藝即將投產(chǎn)的情況下,芯片代工商臺(tái)積電對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求也明顯增加。而外媒最新援引產(chǎn)業(yè)鏈消息人士的透露報(bào)道稱,臺(tái)積電已向阿斯麥下達(dá)了2021的極紫外光刻
2020-11-17 17:20:141640

三星電子正在尋求與極紫外光刻機(jī)供應(yīng)商ASML合作

近日,據(jù)外媒報(bào)道,在芯片制程工藝方面一直落后于臺(tái)積電的三星電子,目前正在尋求加強(qiáng)與極紫外光刻機(jī)供應(yīng)商ASML的合作,以加速5nm和3nm制程的研發(fā)。
2020-11-24 14:54:522073

ASML研發(fā)更先進(jìn)光刻機(jī) 高數(shù)值孔徑極紫外光刻設(shè)計(jì)基本完成

對(duì)于阿斯麥(ASML)來說,他們正在研發(fā)更先進(jìn)的光刻機(jī),這也是推動(dòng)芯片工藝?yán)^續(xù)前行的重要?jiǎng)恿Α?ASML是全球目前唯一能制造極紫外光刻機(jī)的廠商,其在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE
2020-12-29 11:06:572287

ASML新一代極紫外光刻機(jī)設(shè)計(jì)基本完成

12月29日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,ASML正在研發(fā)更先進(jìn)、效率更高的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī):NXE:5000系列,設(shè)計(jì)已經(jīng)基本完成,預(yù)計(jì)在2022年開始商用。
2020-12-30 10:29:302159

報(bào)道稱臺(tái)積電今年預(yù)計(jì)可獲得18臺(tái)極紫外光刻機(jī)

據(jù)國外媒體報(bào)道,臺(tái)積電和三星電子的芯片制程工藝,均已提升到了 5nm,更先進(jìn)的工藝研發(fā)也在推進(jìn),并在謀劃量產(chǎn)事宜。 在制程工藝提升到 5nm 之后,也就意味著臺(tái)積電、三星等廠商,對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求
2021-01-25 17:10:181352

臺(tái)積電今年將獲得 18 臺(tái)極紫外光刻機(jī),三星、英特爾也有

,對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求會(huì)不斷增加,而全球目前唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)廠商的阿斯麥,也就大量供應(yīng)極紫外光刻機(jī)。 英文媒體在最新的報(bào)道中表示,在芯片制程工藝方面走在行業(yè)前列的臺(tái)積電,在今年預(yù)計(jì)可獲得 18 臺(tái)極紫外光刻機(jī),三星和英特爾也將
2021-01-25 17:21:543321

臺(tái)積電向ASML下達(dá)18臺(tái)極紫外光刻機(jī)需求

如今全球芯片短缺,不僅僅已經(jīng)嚴(yán)重營(yíng)銷到了科技數(shù)碼產(chǎn)業(yè),就連汽車產(chǎn)業(yè)也深受其害。為了滿足2021年的需求激增,目前有國外媒體稱臺(tái)積電一口氣向荷蘭ASML下達(dá)了18臺(tái)最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)需求,如此之大的需求令可以說是史上的天量,三星英特爾急了。
2021-01-26 09:22:051158

臺(tái)積電今年仍要狂購極紫外光刻機(jī)

對(duì)于臺(tái)積電來說,他們今年依然會(huì)狂購極紫外光刻,用最先進(jìn)的工藝來確保自己處于競(jìng)爭(zhēng)的最有力地位。
2021-01-26 11:21:511137

未來極紫外光刻技術(shù)將如何發(fā)展?產(chǎn)業(yè)格局如何演變?

近日,荷蘭的光刻機(jī)制造商阿斯麥(ASML)發(fā)布2020年度財(cái)報(bào),全年凈銷售額達(dá)到140億歐元,毛利率達(dá)到48.6%。ASML同時(shí)宣布實(shí)現(xiàn)第100套極紫外光刻(EUV)系統(tǒng)的出貨,至2020年年底已有
2021-02-01 09:30:232588

SK海力士M16工廠已安裝極紫外光刻機(jī) 開始試生產(chǎn)1anm DRAM

2月2日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,臺(tái)積電和三星電子,從阿斯麥購買了大量的極紫外光刻機(jī),用于為蘋果、高通等客戶代工最新的智能手機(jī)處理器。 而從外媒的報(bào)道來看,除了臺(tái)積電和三星,存儲(chǔ)芯片制造商SK海力士
2021-02-02 18:08:482632

SK海力士將大量購買極紫外光刻機(jī)

2月25日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,芯片制程工藝提升至5nm的臺(tái)積電和三星,已從阿斯麥購買了大量的極紫外光刻機(jī),并且還在大量購買。
2021-02-26 09:22:011530

紫外光通信技術(shù):紫外光通信的基本原理

紫外光通信是以大氣分子和子溶膠粒子的散射和吸收為基礎(chǔ)的。紫外光通信基于兩個(gè)相互關(guān)聯(lián)的物理現(xiàn)象:一是大氣層中的臭氧對(duì)波長(zhǎng)在200nm到280nm之間的紫外光有強(qiáng)烈的吸收作用,這個(gè)區(qū)域被叫做日盲區(qū)
2022-03-18 10:11:034253

duv光刻機(jī)和euv光刻機(jī)區(qū)別是什么

目前,光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術(shù),EUV使用的是深紫外光刻技術(shù)。EUV為先進(jìn)工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

臺(tái)積電將2024年獲高NA EUV光刻機(jī) 助于2nm工藝量產(chǎn)

  最近,據(jù)報(bào)道,臺(tái)積電將于2024年收購下一代Asmail的最新極紫外光刻設(shè)備,為客戶開發(fā)相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施和架構(gòu)解決方案。
2022-09-20 14:23:311108

看一下EUV光刻的整個(gè)過程

EUV 光刻是以波長(zhǎng)為 10-14nm 的極紫外光作為光源的芯片光刻技術(shù),簡(jiǎn)單來說,就是以極紫外光作“刀”,對(duì)芯片上的晶圓進(jìn)行雕刻,讓芯片上的電路變成人們想要的圖案。
2022-10-10 11:15:024367

?焦點(diǎn)芯聞丨ASML 阿斯麥 CEO 透露高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī) 2024 年開始出貨

熱點(diǎn)新聞 1、 ASML 阿斯麥 CEO 透露高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī) 2024?年開始出貨 據(jù)國外媒體報(bào)道,光刻機(jī)制造商阿斯麥的 CEO 兼總裁彼得?維尼克 (Peter Wennink),在本周
2022-11-18 19:00:033971

基于選擇性紫外光刻的光纖微圖案化

科學(xué)家利用選擇性紫外光刻實(shí)現(xiàn)復(fù)合纖維材料的光纖微圖案化
2022-12-22 14:58:13194

紫外光刻隨機(jī)效應(yīng)的表現(xiàn)及產(chǎn)生原因

  極紫外光刻的制約因素   耗電量高極紫外線波長(zhǎng)更短,但易被吸收,可利用率極低,需要光源提供足夠大的功率。如ASML 3400B光刻機(jī),250W的功率,每天耗電達(dá)到三萬度。   生產(chǎn)效率仍不
2023-06-08 15:56:42283

紫外光刻機(jī)(桌面型掩膜對(duì)準(zhǔn))

MODEL:XT-01-UVlitho-手動(dòng)版一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介光刻技術(shù)是現(xiàn)代半導(dǎo)體、微電子、信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),是集成電路最重要的加工工藝。光刻膠在紫外光的照射下發(fā)生化學(xué)變化,通過曝光、顯影、刻蝕等工藝過程
2022-12-20 09:24:261211

虹科案例 | 用于低成本改造光刻設(shè)備的UV紫外光

? ? 紫外光刻和曝光 是半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)各種高端芯片、微觀電路結(jié)構(gòu)的核心技術(shù)。在紫外光刻過程中,光源發(fā)射的紫外線通過掩模上的微小透鏡或光柵,然后投射到光刻膠層上,形成所需的微細(xì)圖案。 長(zhǎng)期以來
2023-07-05 10:11:241026

紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向,對(duì)照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

紫外μLED作為日盲紫外光通信光源的研究現(xiàn)狀和綜合分析

實(shí)現(xiàn)深紫外光通信的一個(gè)關(guān)鍵器件是深紫外光源。早期深紫外光源利用高壓汞燈實(shí)現(xiàn),但汞燈的調(diào)制帶寬非常小,這嚴(yán)重影響了深紫光通信的傳輸速率。
2023-09-05 11:13:00484

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