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電子發(fā)燒友網>今日頭條>采用化學機械拋光(CMP)工藝去除機理

采用化學機械拋光(CMP)工藝去除機理

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在前道加工領域:CMP 主要負責對晶圓表面實現(xiàn)平坦化。晶圓制造前道加工環(huán)節(jié)主要包括7個相互獨立的工藝流程:光刻、刻蝕、薄膜生長、擴散、離子注入、化學機械拋光、金屬化 CMP 則主要用于銜接不同薄膜工藝,其中根據工藝段來分可以分為前段制程(FEOL)和后段制程(BEOL)
2023-07-10 15:14:333567

華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產業(yè)化項目奠基

據通州區(qū)馬駒橋鎮(zhèn)政府消息,華海清科集成電路尖端設備研發(fā)及產業(yè)化項目位于馬聚橋鎮(zhèn)智能制造基地,主要涉及化學機械光處理(cmp)設備,減薄機研發(fā)和產業(yè)化。如果該項目得以實現(xiàn),將具備28納米以下尖端工程的cmp設備研究開發(fā)能力和每月加工20萬個12英寸再生晶片的能力。
2023-06-30 11:50:10711

CMP402是一款比較器

CMP401 和CMP402分別為23 ns和65 ns四通道比較器,采用獨立的輸入和輸出電源。獨立電源使輸入級可以采用+3 V至±6 V電源供電。輸出可以采用3 V或5 V電源供電,具體取決于接口
2023-06-28 17:22:15

CMP401是一款比較器

CMP401和CMP402分別為23 ns和65 ns四通道比較器,采用獨立的輸入和輸出電源。獨立電源使輸入級可以采用+3 V至±6 V電源供電。輸出可以采用+3 V或+5 V電源供電,具體取決于
2023-06-28 17:19:58

淺談半導體制造中的刻蝕工藝

在上一篇文章,我們介紹了光刻工藝,即利用光罩(掩膜)把設計好的電路圖形繪制在涂覆了光刻膠的晶圓表面上。下一步,將在晶圓上進行刻蝕工藝,以去除不必要的材料,只保留所需的圖形。
2023-06-28 10:04:58843

溫度-機械應力失效主要情形

集成電路封裝失效機理是指與集成電路封裝相關的,導致失效發(fā)生的電學、溫度、機械、氣候環(huán)境和輻射等各類應力因素及其相互作用過程。根據應力條件的不同,可將失效機理劃分為電應力失效機理、溫度-機械應力失效
2023-06-26 14:15:31603

集成電路封裝失效機理

集成電路封裝失效機理是指與集成電路封裝相關的,導致失效發(fā)生的電學、溫度、機械、氣候環(huán)境和輻射等各類應力因素及其相互作用過程。
2023-06-26 14:11:26715

CMP工藝影響下的版圖優(yōu)化

外,學生還就感興趣的課題做深入調研。師生共同討論調研報告,實現(xiàn)教學互動。調研的內容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術。
2023-06-20 10:51:43335

什么是電拋光smt鋼網工藝?

拋光smt鋼網是什么工藝,它與其他smt鋼網相比有哪些優(yōu)點呢,今天我們?yōu)榇蠹易錾钊氲闹v解,希望幫助大家在選購適合自己工廠真正需要的smt鋼網。
2023-06-19 10:17:44569

半導體前端工藝:刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

在半導體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕”工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細圖案。半導體“刻蝕”工藝采用的氣體和設備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571177

北成新控丨哈默納科Harmonic執(zhí)行器在半導體CMP設備中的應用

北方某客戶在CMP設備使用了哈默納科執(zhí)行器SHA、RSF、HMA和FHA系列產品,滿足了客戶對于提高控制精度,高速定位,緊湊安裝空間的需求。
2023-06-14 09:48:39327

基于深度強化學習的視覺反饋機械臂抓取系統(tǒng)

機械臂抓取擺放及堆疊物體是智能工廠流水線上常見的工序,可以有效的提升生產效率,本文針對機械臂的抓取擺放、抓取堆疊等常見任務,結合深度強化學習及視覺反饋,采用AprilTag視覺標簽、后視經驗回放機制
2023-06-12 11:25:221214

電路板電鍍中4種特殊的電鍍方法

。常將金鍍在內層鍍層為鎳的板邊連接器突出觸頭上,金手指或板邊突出部分采用手工或自動電鍍技術,目前接觸插頭或金手指上的鍍金已被鍍姥、鍍鉛、鍍鈕所代替。其工藝如下所述: 1)剝除涂層去除突出觸點上的錫或錫
2023-06-12 10:18:18

一文讀懂CMP拋光

在現(xiàn)代工業(yè)中,表面加工是至關重要的一環(huán)。為了達到所需的表面粗糙度、光潔度和平整度等要求,往往需要進行拋光處理。
2023-06-08 11:13:552653

藍寶石在化學機械拋光過程中的材料去除機理

化學腐蝕點處的濃度越高,腐蝕速率越快。在拋光過程中拋光液持續(xù)流動,我們假設在腐蝕點處的濃度可以保持初始時的濃度,腐蝕率以最快的速度發(fā)生,則拋光液不同的PH值對應一個腐蝕率,由此可見,去除速率與PH值有關,PH越高,速率越快。
2023-06-02 15:24:06347

碳化硅晶片的超精密拋光工藝

使用化學機械拋光(CMP)方法對碳化硅晶片進行了超精密拋光試驗,探究了滴液速率、拋光頭轉 速、拋光壓力、拋光時長及晶片吸附方式等工藝參數對晶片表面粗糙度的影響,并對工藝參數進行了優(yōu)化,最終 得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子級光滑碳化硅晶片。
2023-05-31 10:30:062215

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優(yōu)化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

半導體工藝裝備現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

集成電路前道工藝及對應設備主要分八大類,包括光刻(光刻機)、刻蝕(刻蝕機)、薄膜生長(PVD-物理氣相沉積、CVD-化學氣相沉積等薄膜設備)、擴散(擴散爐)、離子注入(離子注入機)、平坦化(CMP設備)、金屬化(ECD設備)、濕法工藝(濕法工藝設備)等。
2023-05-30 10:47:121131

圖文詳解表面處理工藝流程

表面處理是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機械、物理和化學性能不同的表層的工藝方法。
2023-05-22 11:07:221514

激光與碳化硅相互作用的機理及應用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導體晶圓制程中的應用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機理,并重點對碳化硅晶圓激光標記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應用進行了介紹。
2023-05-17 14:39:041222

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

什么是晶圓清洗

晶圓清洗工藝的目的是在不改變或損壞晶圓表面或基板的情況下去除化學雜質和顆粒雜質。晶圓表面必須保持不受影響,這樣粗糙、腐蝕或點蝕會抵消晶圓清潔過程的結果
2023-05-11 22:03:03783

如何讓自動拋光設備達到理想的拋光效果

一、自動拋光機的拋光效果因素自動拋光機的拋光效果取決于多個因素,除了自動拋光機本身的質量以外,還包括使用工藝、選用什么樣的拋光輔料,要拋光物件材質,操作者的經驗技術等,在條件都合適的情況下,自動
2023-05-05 09:57:03535

PCB工藝設計要考慮的基本問題

手機板)的板,就一定要采用化學鍍鎳/金工藝(Et.Ni5.Au0.1)。有的廠家也采用整板鍍金工藝(Ep.Ni5.Au0.05)處理。前者表面更平整,鍍層厚度更均勻、更耐焊,而后者便宜、亮度好。   從
2023-04-25 16:52:12

《炬豐科技-半導體工藝》III-V族化學-機械拋光工藝開發(fā)

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:III-V族化學-機械拋光工藝開發(fā) 編號:JFKJ-21-214 作者:炬豐科技 摘要 ? III-V材料與絕緣子上硅平臺的混合集成是一種很有前景的技術
2023-04-18 10:05:00151

從半導體原材料到拋光晶片的基本工藝流程

 半導體材料和半導體器件在世界電子工業(yè)發(fā)展扮演的角色我們前幾天已經聊過了。而往往身為使用者的我們都不太會去關注它成品之前的過程,接下來我們就聊聊其工藝流程。今天我們來聊聊如何從原材料到拋光晶片的那些事兒。
2023-04-14 14:37:502034

通過物聯(lián)網網關實現(xiàn)拋光設備數據采集遠程監(jiān)控

設備所替代。 自動化拋光設備一般是針對特定工藝特定工件而設計的非標設備,可以進行高效率的拋光打磨工作,常見的設備便是工業(yè)機器人。物通博聯(lián)工業(yè)智能網關可以采集各類打磨拋光設備、工業(yè)機器人內的控制器PLC數據,將各
2023-04-14 10:21:59338

超精密拋光技術,不簡單!

很早以前看過這樣一個報道:德國、日本等國家的科學家耗時5年時間,花了近千萬元打造了一個高純度的硅-28材料制成的圓球,這個1kg純硅球要求超精密加工研磨拋光、精密測量(球面度、粗糙度和質量),可謂
2023-04-13 14:24:341685

CMP0603AFX-3300ELF

CMP0603AFX-3300ELF
2023-04-06 23:30:58

CMP1206-FX-5100ELF

CMP1206-FX-5100ELF
2023-04-06 23:30:40

CMP0603-FX-1004ELF

CMP0603-FX-1004ELF
2023-04-06 23:29:30

濕清洗過程中硅晶片表面顆粒去除

在整個晶圓加工過程中,仔細維護清潔的晶圓表面對于在半導體器件制造中獲得高產量至關重要。因此,濕式化學清洗以去除晶片表面的污染物是任何LSI制造序列中應用最重復的處理步驟。
2023-03-30 10:00:091940

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

鋰離子電池負極衰減機理研究進展

。 因此,關于負極衰減機理研究的多是關于石墨材料的衰減機理。 電池容量的衰減包括存儲及使用時的衰減,存儲時的衰減通常與電化學性能參數變化(阻抗等)有關,使用時除電化學性能變化外, 還伴隨有結構等機械應力的變化、析鋰等現(xiàn)象。
2023-03-27 10:40:52538

被卡脖子的半導體材料(萬字深度報告)

根據SEMI數據,2020年全球晶圓制造材料中,硅片占比最高,為35%;電子氣體排名第2,占比13%;掩膜版排名第3,占比12%,光刻膠占比6%;光刻膠配套材料占比8% ;濕電子化學品占比7%;CMP拋光材料占比6%;靶材占比2%。
2023-03-25 09:30:544119

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