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電子發(fā)燒友網>制造/封裝>傳臺積電計劃關閉EUV光刻機來減少產能

傳臺積電計劃關閉EUV光刻機來減少產能

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#硬聲創(chuàng)作季 EUV光刻機安裝現場首次曝光

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芯片制造關鍵的EUV光刻機單價為何能超1億歐元?

進入10nm工藝節(jié)點之后,EUV光刻機越來越重要,全球能產EUV光刻機的就是荷蘭ASML公司了,他們總共賣出18臺EUV光刻機,總價值超過20億歐元,折合每套系統售價超過1億歐元,可謂價值連城。
2017-01-19 18:22:593470

EUV光刻機被已經準備好了,各大企業(yè)的爭奪戰(zhàn)開始打響

125片晶圓)的性能規(guī)格。那就意味著最初計劃在2004年推出的EUV光刻機,在延誤了十三年之后,終于準備好了。
2018-01-23 14:51:008018

ASML公司Q2季度出貨4臺EUV光刻機,大陸市場營收比例達到19%

光刻機,是半導體芯片生產中最重要的設備之一,荷蘭ASML公司已經成為全球光刻機市場的一哥,壟斷了高端光科技生產,在EUV光刻機領域更是獨一份。
2018-07-19 16:52:002940

中芯1.2億美元下單最先進EUV光刻機

(極紫外線)光刻機,價值1.2億美元。目前,業(yè)內已達成共識,必須使用EUV光刻機才能使半導體芯片進入7nm,甚至5nm時代。今天,中芯國際方面對觀察者網表示,對此事不做評論。
2018-09-05 15:24:1914570

EUV光刻機對半導體制程的重要性

將增長到30臺,而且明年下半年會推出新一代的NXE:3400C型光刻機,生產能力從現在的每小時125晶圓提升到155片晶圓以上,意味著產能提升24%?! ≡诂F有的EUV之外,ASML與IMEC比利時微電子
2018-11-02 10:14:19834

ASML正在著手開發(fā)新一代極紫外(EUV光刻機

ASML副總裁Anthony Yen表示,ASML已開始開發(fā)極紫外(EUV光刻機,其公司認為,一旦當今的系統達到它們的極限,就將需要使用極紫外光刻機來繼續(xù)縮小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142

臺積電將包攬ASML這批EUV光刻機中的18臺

由于三星去年就小規(guī)模投產了7nm EUV,同時ASML(荷蘭阿斯麥)將EUV光刻機的年出貨量從18臺提升到今年的預計30臺,顯然促使臺積電不得不加快腳步。
2019-04-30 17:30:037913

ASML發(fā)布2019年Q2季度財報 EUV光刻機最主要的問題還是產能不足

掌握全球唯一EUV光刻機研發(fā)、生產的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發(fā)布了2019年Q2季度財報,當季營收25.68億歐元,其中凈設備銷售額18.51億歐元,總計出貨了41臺光刻機,其中EUV光刻機7臺。
2019-07-18 16:02:003147

動態(tài) | 阿斯麥發(fā)布Q2財報:EUV光刻機產能大增

掌握全球唯一EUV光刻機研發(fā)、生產的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發(fā)布了2019年Q2季度財報,當季營收25.68億歐元,其中凈設備銷售額18.51億歐元,總計出貨了41臺光刻機,其中EUV光刻機7臺。
2019-07-23 10:47:213102

關于EUV光刻機的分析介紹

格芯首席技術官Gary Patton表示,如果在5nm的時候沒有使用EUV光刻機,那么光刻的步驟將會超過100步,這會讓人瘋狂。所以所EUV光刻機無疑是未來5nm和3nm芯片的最重要生產工具,未來圍繞EUV光刻機的爭奪戰(zhàn)將會變得異常激烈。因為這是決定這些廠商未來在先進工藝市場競爭的關鍵。
2019-09-03 17:18:1812845

ASML研發(fā)第二代EUV光刻機的微縮分辨率、套準精度提升了70%

據韓媒報道稱,ASML正積極投資研發(fā)下一代EUV光刻機,與現有光刻機相比,二代EUV光刻機最大的變化就是High NA透鏡,通過提升透鏡規(guī)格使得新一代光刻機的微縮分辨率、套準精度兩大光刻機核心指標提升70%,達到業(yè)界對幾何式芯片微縮的要求。
2019-08-07 11:24:395849

半導體巨頭為什么追捧EUV光刻機

近些年來EUV光刻這個詞大家應該聽得越來越多,三星在去年發(fā)布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工藝打造的芯片,臺積電的7nm+也是他們首次使用EUV光刻的工藝,蘋果的A13
2020-02-29 10:58:473149

中芯國際表示深圳工廠進口光刻機不是EUV光刻機

據中國證券報報道,3月6日下午從中芯國際獲悉,日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機,但這是設備正常導入,用于產能擴充,并非外界所稱的EUV光刻機。
2020-03-07 10:55:144167

ASML研發(fā)新一代EUV光刻機 分辨率能提升70%左右

EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創(chuàng)造了新紀錄。據報道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機,預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:13:482863

曝ASML新一代EUV光刻機預計2022年開始出貨 將進一步提升光刻機的精度

EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創(chuàng)造了新紀錄。據報道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機,預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:194670

開發(fā)頂級光刻機的困難 頂級光刻機有多難搞?

頂級光刻機有多難搞?ASML的光刻機,光一個零件他就調整了10年!拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例,其內部精密零件多達10萬個,比汽車零件精細數十倍!
2020-07-02 09:38:3911513

EUV光刻機全球出貨量達57臺

與此同時, 他指出,EUV繼續(xù)為ASML的客戶提高產量,迄今為止,他們的客戶已經使用EUV光刻機曝光了超過1100萬個EUV晶圓,并交付了57個3400x EUV系統(3400平臺是EUV生產平臺)。
2020-08-14 11:20:552048

王毅與荷蘭談光刻機出口問題

【重磅】王毅到訪荷蘭,期待放行ASML EUV光刻機 來源:中國半導體論壇 彭博引述知情人士消息稱,荷蘭政府極有可能不會給予ASML向中國出貨EUV光刻機的許可證。一年前的許可證到期后,在美國
2020-09-10 14:19:112577

1.2億美元光刻機

荷蘭阿斯麥(ASML)公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器,相信大家都有耳聞,它是加工芯片的設備。其最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠制造7nm以下制程的芯片,據說一套最先進的7納米EUV
2020-10-15 09:20:054438

EUV光刻機還能賣給中國嗎?

ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元,折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:499647

目前全球只有荷蘭ASML有能力生產EUV光刻機

11月5日,世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV(極紫外光)光刻機的企業(yè),由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機。據悉,該產品可生產7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517

ASML EUV光刻機被美國限制 中國企業(yè)出多少錢都買不回

ASML在光刻機領域幾乎是巨無霸的存在,而他們對于與中國企業(yè)合作也是非常歡迎,無奈一些關鍵細節(jié)上被美國卡死。 中國需要光刻機,尤其是支持先進制程的高端光刻機,特別是 EUV (極紫外光源)光刻機
2020-11-10 10:08:043056

ASML向中國出售EUV光刻機,沒那么容易

中國需要光刻機,尤其是支持先進制程的高端光刻機。具體來說,就是 EUV (極紫外光源)光刻機
2020-11-11 10:13:304278

SK海力士加速量產第四代內存齊上EUV光刻機

。 EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代(1a nm)內存,在內存業(yè)內,目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。 EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產時間、降低成本,并提高性能。 當然,EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的制造商ASML(
2020-11-26 18:23:291761

為何只有荷蘭ASML才能制造頂尖EUV光刻機設備?

自從芯片工藝進入到7nm工藝時代以后,需要用到一臺頂尖的EUV光刻機設備,才可以制造7nm EUV、5nm等先進制程工藝的芯片產品,但就在近日,又有外媒豪言:這種頂尖的EUV極紫外光刻機,目前全球
2020-12-03 13:46:226379

臺積電已經向ASML下定了至少13臺EUV光刻機

需要明白的是,EUV光刻機不是有錢就能買,因為ASML每年的產能非常有限,2019年全年才出貨了26臺,今年上半年出貨了13臺,截至三季度結束累計才出貨23臺。
2020-12-11 13:56:202186

國產光刻機之路,任重而道遠

荷蘭阿斯麥公司作為掌握光刻機系統集成和整體架構的核心企業(yè),自然成了歐美自家的小棉襖,順利趕上了歐美EUV技術研究發(fā)展的風口,投資德國卡爾蔡司,收購美國Cymer光源。集成世界各國頂尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518165

臺積電為1nm制程狂購EUV光刻機

之前有消息稱,臺積電正在籌集更多的資金,為的是向ASML購買更多更先進制程的EUV光刻機,而這些都是為了新制程做準備。
2020-12-29 09:22:482192

臺積電向ASML購買更多更先進制程的EUV光刻機

Luc Van den hove表示,IMEC的目標是將下一代高分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業(yè)化。由于此前得光刻機競爭對手早已經陸續(xù)退出市場,目前ASML把握著全球主要的先進光刻機產能,近年來,IMEC一直在與ASML研究新的EUV光刻機,目前目標是將工藝規(guī)??s小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673

2021年臺積電和三星將需要ASML供應多少臺EUV光刻機

? ? 半導體晶圓代工成為全球科技競爭的焦點,先進制程的角逐競爭日趨激烈,ASML的EUV光刻機供應成為產業(yè)界關心的話題。2021年臺積電和三星將需要ASML供應多少臺EUV光刻機?臺灣和日本產
2020-12-30 17:53:354016

ASML一共出貨了100臺EUV光刻機左右

而2018年中芯與ASML簽訂了一項EUV光刻機購買協議,以1.2億美元購買一臺光刻機,但直到現在都沒有交貨,因為沒有拿到出口許可證。
2021-01-08 11:37:512368

為何EUV光刻機會這么耗電呢

EUV(極紫外光)光刻機,是目前半導體產業(yè)已投入規(guī)模生產使用的最先進光刻機類型。近來,有不少消息都指出,EUV光刻機耗電量非常大,甚至它還成為困擾臺積電的一大難題。 為何EUV光刻機會這么耗電
2021-02-14 14:05:003915

SK海力士已開始安裝EUV光刻機,以量產10nm 1a DRAM

ASML EUV光刻機的引進方式、確切時間等。 因此業(yè)內人士有諸多揣測,包括將研究大樓R3的2臺EUV光刻機轉移至該產線,并計劃于今年2月開始安裝新購買的設備等。現在看來,SK海力士新設備的購買和安裝速度快于業(yè)界預期。 該報道指出,EUV光刻機的安裝時程需要3-6個月,因此SK海力士最快
2021-01-20 18:19:202146

為什么都搶著買價格更昂貴的EUV光刻機?

目前,還有ASML有能力生產最先進的EUV光刻機,三星、臺積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協定》的制約,中國大陸沒有從ASML買來一臺EUV光刻機。
2021-01-21 08:56:184078

ASML今年將出貨交付40臺EUV光刻機

在四季度財報會議上,荷蘭ASML(阿斯麥)表示,預計今年將出貨交付40臺EUV光刻機,比去年多9臺。
2021-01-21 15:16:431369

ASML壟斷第五代光刻機EUV光刻機:一臺利潤近6億

%,凈利潤達到36億歐元。全球光刻機主要玩家有ASML、尼康和佳能三家,他們占到了全球市場90%。 ASML由于技術領先,一家壟斷了第五代光刻機EUV光刻機,這類光刻機用于制造7nm以下先進制程的芯片。 2020年ASML對外銷售了31臺EUV光刻機,帶來了45億歐元(折合352.52億
2021-01-22 10:38:164677

ASML下一代EUV光刻機延期:至少2025年

ASML公司前兩天發(fā)布了財報,全年凈銷售額140億歐元,EUV光刻機出貨31臺,帶來了45億歐元的營收,單價差不多11.4億歐元了。 雖然業(yè)績增長很亮眼,但是ASML也有隱憂,實際上EUV光刻機
2021-01-22 17:55:242639

SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機

隨著半導體工藝進入10nm節(jié)點以下,EUV光刻機成為制高點,之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機,率先量產7nm、5nm工藝,現在內存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機。
2021-02-25 09:28:551644

SK海力士與ASML簽合同:SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機

隨著半導體工藝進入10nm節(jié)點以下,EUV光刻機成為制高點,之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機,率先量產7nm、5nm工藝,現在內存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機
2021-02-25 09:30:232047

SK海力士砸4.8萬億韓元買EUV光刻機

隨著半導體工藝進入10nm節(jié)點以下,EUV光刻機成為制高點,之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機,率先量產7nm、5nm工藝,現在內存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機。
2021-02-25 11:39:091844

中國有望獨立生產EUV光刻機,打破ASML壟斷

一提起ASML這家公司,就少不了對光刻機問題的討論,因為截至目前,ASML仍然是全球最領先的光刻機廠商。普通的DUV光刻機就不多說了,ASML每年都能賣出去很多臺,而在更先進的EUV光刻機方面,ASML更是占據了絕對壟斷的地位。
2021-02-27 09:59:4214073

冰刻技術能否助力國產芯片擺脫光刻機?

光刻機是我國芯片制造業(yè)一大痛點,目前,在EUV光刻機賽道中,僅有ASML一個玩家。
2021-03-02 15:29:139297

三星積極向唯一EUV光刻機廠商ASML爭取訂單

三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機廠商ASML爭取訂單,另外一方面也在增資為EUV產業(yè)鏈輸血。
2021-03-04 09:52:411757

12億美元,中芯國際訂購光刻機

中芯國際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm,若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程,EUV光刻機設備就必不可少。那么,中芯國際此次12億美元的采購協議都有哪些類型的光刻機,包含EUV光刻機嗎?
2021-03-10 14:36:559465

中科院5nm光刻技術與ASML光刻機有何區(qū)別?

以下內容由對話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機產能如何? ● 晶圓為什么是圓的? ● 不同制程的芯片之間有何區(qū)別? ● 什么是邏輯芯片,邏輯芯片又包括哪些? ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476

ASML分享未來四代EUV光刻機的最新進展

日前,ASML產品營銷總監(jiān)Mike Lercel向媒體分享了EUV(極紫外)光刻機的最新進展。
2021-03-19 09:39:404630

ASML第二代EUV光刻機跳票三年,售價恐貴出天際

第二代EUV光刻機原本預計最快可以2023年問世,但最新傳聞稱NXE:5000系列跳票,而且一下子就跳票三年,要到2025-2026年才有可能問世了。 要知道,ASML是全球唯一一家量產EUV光刻機
2021-06-26 16:55:281203

美國出手阻撓!禁止荷蘭將EUV光刻機賣給中國大陸

美國媒體7月19日報道,美國政府正在努力阻止荷蘭ASML EUV光刻機(極紫外光刻機)進入中國大陸。 報道稱,中國政府此前與荷蘭政府協商,要求允許中國公司購買ASML生產的EUV光刻機設備(極紫外光刻機
2021-07-21 16:52:252126

美國出手阻撓,禁止荷蘭將EUV光刻機賣給中國大陸

美國華爾街日報7月19日報道,美國政府正在努力阻止荷蘭ASML EUV光刻機(極紫外光刻機)進入中國大陸。 華爾街日報報道稱,中國政府此前與荷蘭政府協商,要求允許中國公司購買ASML生產的EUV
2021-07-25 17:35:152919

EUV光刻機何以造出5nm芯片

電子發(fā)燒友網報道(文/周凱揚)作為近乎壟斷的光刻機巨頭,ASML的EUV光刻機已經在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺積電還是三星,EUV光刻機的購置已經是生產支出中很大的一筆,也成了
2021-12-07 14:01:1010742

關于EUV光刻機的缺貨問題

臺積電和三星從7nm工藝節(jié)點就開始應用EUV光刻層了,并且在隨后的工藝迭代中,逐步增加半導體制造過程中的EUV光刻層數。
2022-05-13 14:43:202077

三星董事李在镕親自拜訪ASML,只為爭取到EUV光刻機

媒體稱三星的目的是為了搶到ASML的EUV光刻機。 目前芯片短缺的現狀大家也都清楚,再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻機才能打造,而本來EUV光刻機就稀少,因此先進芯片發(fā)展頻頻受限,并且前段時間三星才剛剛和Intel洽談完芯片合作的事宜,因
2022-06-07 14:18:041176

臺積電將于2024年引進ASML最新EUV光刻機,主要用于相關研究

日前,在臺積電召開的會議上,有一名高管稱臺積電將于2024年引進ASML正在研發(fā)的最新的High-NA EUV光刻機。 會議中,該高管稱:為了滿足客戶所需的相關基礎設施的開發(fā)等,臺積電將于2024
2022-06-17 16:33:276499

荷蘭AMSL公司正在研發(fā)一種新版本的EUV光刻機

據CNBC報道稱,世界聞名的先進光刻機智造商荷蘭AMSL公司正在研發(fā)一種新版本的EUV光刻機
2022-06-18 08:13:031794

EUV光刻機售價超26億,Intel成為首位買家,將于2025年首次交付

在芯片研發(fā)的過程中,光刻機是必不可少的部分,而隨著芯片制程工藝的不斷發(fā)展,普通的光刻機已經不能滿足先進制程了,必須要用最先進的EUV光刻機才能完成7nm及其以下的先進制程,而目前臺積電和三星都在攻克
2022-06-28 15:07:126676

euv光刻機三大核心技術 哪些公司有euv光刻機

中國芯的進步那是有目共睹,我國在光刻機,特別是在EUV光刻機方面,更是不斷尋求填補空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516742

三星可生產euv光刻機euv光刻機每小時產能

隨著芯片制程工藝的更新迭代,芯片已進入納米時代,指甲蓋大小的芯片上集成的晶體管數量高達百億。然而芯片制造最大的困難是光刻機
2022-07-05 10:57:265743

三星斥資買新一代光刻機 中芯光刻機最新消息

三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634

euv光刻機可以干什么 光刻工藝原理

光刻機是芯片制造的核心設備之一。目前世界上最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機。
2022-07-06 11:03:077000

中國euv光刻機三大突破 光刻機的三個系統

如今世界最先進的EUV光刻機,只有asml一家公司可以制造出來。
2022-07-06 11:19:3850685

euv光刻機出現時間 ASML研發(fā)新一代EUV光刻機

EUV光刻機是在2018年開始出現,并在2019年開始大量交付,而臺積電也是在2019年推出了7nm EUV工藝。
2022-07-07 09:48:444523

euv光刻機目前幾納米 中國5納米光刻機突破了嗎

大家都知道,芯片制造的核心設備之一就是光刻機了?,F在,全球最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機,那么euv光刻機目前幾納米呢? 到現在,世界上最先進的光刻機能夠實現5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4242766

euv光刻機是哪個國家的

說到芯片,估計每個人都知道它是什么,但說到光刻,許多人可能不知道它是什么。光刻機是制造芯片的機器和設備。沒有光刻機的話,就無法生產芯片,因此每個人都知道光刻機對芯片制造業(yè)的重要性。那么euv光刻機
2022-07-10 11:42:276977

euv光刻機是干什么的

可以生產出納米尺寸更小、功能更強大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機生產。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工作臺系統三大核心技術。 目前,最先進的光刻機是荷蘭ASML公司的EUV光刻機。預計在光路系統的幫助下,能
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻機euv光刻機區(qū)別是什么

目前,光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術,EUV使用的是深紫外光刻技術。EUV為先進工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻機原理是什么

euv光刻機原理是什么 芯片生產的工具就是紫外光刻機,是大規(guī)模集成電路生產的核心設備,對芯片技術有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機生產。那么euv光刻機原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

euv光刻機用途是什么

光刻機是當前半導體芯片產業(yè)的核心設備,其技術含量和價值含量都很高。那么euv光刻機用途是什么呢?下面我們就一起來看看吧。 光刻設備涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密材料傳輸、高精度微環(huán)境控制
2022-07-10 16:34:403116

傳臺積電關閉4臺EUV光刻機減少產出!

聯發(fā)科、AMD、高通、英偉達合計占臺積電營收比重逾三成。近期,臺積電這四大客戶陸續(xù)對外釋出相對保守的信息,比如聯發(fā)科調降年度營收增幅展望,英偉達更高喊“庫存太高,要降價出清”。
2022-09-08 15:47:471744

ASML光刻機擴產計劃公布:EUV 90臺/年 DUV 600臺/年

沿,正是由于設備的先進性同樣受到美國管制,不允許最先進的光刻機賣給我國半導體廠商,但是ASML為了支持中國業(yè)務的增長,頂住了很大的壓力,已經明確表示會繼續(xù)深耕中國市場,ASML的產能就備受關注。 同時在5月份的時候,ASML首席執(zhí)行官兼總裁 Peter Wennink
2022-11-12 17:58:121786

除ASML之外的光刻機廠商們近況如何?

電子發(fā)燒友網報道(文/周凱揚)盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商,憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵,主導著半數以上的市場份額,但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:033222

密度提升近3倍,高NA EUV光刻機有何玄機

電子發(fā)燒友網報道(文/ 周凱揚 )到了3nm這個工藝節(jié)點之后,單靠現有的0.33NA EUV光刻機就很難維系下去了。 為了實現2nm乃至未來的埃米級工藝,將晶體管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 07:25:02952

光刻機的發(fā)展歷程及工藝流程

光刻機經歷了5代產品發(fā)展,每次改進和創(chuàng)新都顯著提升了光刻機所能實現的最小工藝節(jié)點。按照使用光源依次從g-line、i-line發(fā)展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次從接觸接近式光刻機發(fā)展到浸沒步進式投影光刻機和極紫外式光刻機。
2024-03-21 11:31:4143

押注2nm!英特爾26億搶單下一代 EUV光刻機,臺積電三星決戰(zhàn)2025!

了。 ? 芯片制造離不開光刻機,特別是在先進制程上,EUV光刻機由來自荷蘭的ASML所壟斷。同時,盡管目前市面上,EUV光刻機客戶僅有三家,但需求不斷增加的情況底下,EUV光刻機依然供不應求。 ? 針對后3nm時代的芯片制造工藝,High-NA(高數值孔徑)EUV光刻機
2022-06-29 08:32:004635

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